一种自动调压式膜分离去除SF6气体中N2的装置及方法

    公开(公告)号:CN117531341A

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202311550834.5

    申请日:2023-11-16

    Abstract: 本发明公开了一种自动调压式膜分离去除SF6气体中N2的装置,包括进气口1、比例阀2、压缩机3、主路流量控制器4、第一压力传感器5、膜分离组件6、SF6纯度检测单元11、第二压力传感器14、第三电磁阀15和灌充口16进行依次串联连接;膜分离组件6另一侧依次连接第一电磁阀7、尾气段流量控制器8、微量SF6检测组件9和排放口10;SF6纯度检测单元11与第二压力传感器14之间另连出一气路依次连接回流段流量控制器12、第二电磁阀13连接在比例阀2之后压缩机3之前的进气口形成一个回路;通过微量SF6检测组件9和SF6纯度检测单元11对回收的N2和SF6进行检测,从而调整比例阀2开度的大小和流量控制器的设定值提高膜分离效果和回收的SF6气体纯度。

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