一种具有温度补偿的多参量C4F7N气体检测光纤法珀传感器

    公开(公告)号:CN119688613A

    公开(公告)日:2025-03-25

    申请号:CN202411821820.7

    申请日:2024-12-11

    Abstract: 一种具有温度补偿的多参量C4F7N气体检测光纤法珀传感器,属于C4F7N气体检测技术领域,解决现有的光纤传感仪器灵敏度低以及应用场景单一的问题,本发明传感膜片结构设计多个凹槽,凹槽内部分别涂覆有气体敏感膜和温度敏感膜,当传感器处于有目标气体的环境中时,可获得环境气体的检测结果以及温度的检测结果,拓宽了传感器的应用范围;单模光纤的端面与凹槽的表面之间的间隔形成法珀腔,单模光纤的出射光经过凹槽的表面反射,凹槽对反射光进行汇聚,提高反射率,使得反射光高效地耦合进入单模光纤中,提高光干涉峰的对比度,进而提高传感器的探测灵敏度;本发明传感器结构简单、体积小、可靠性高,能够实现对C4F7N气体分解产物高灵敏度测量。

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