公开(公告)号：CN106676487A

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201610880632.0

申请日：2016-10-09

Applicant: 宁波森利电子材料有限公司

Inventor： 杨晔 ,  兰品军 ,  宋伟杰 ,  温艳玲 ,  朱永明

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/08

CPC classification number: C23C14/3414 ,  C23C14/086 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明涉及一种氧化锌基陶瓷溅射靶材及其制备方法和应用。具体地，本发明公开了一种氧化锌基靶材的制备方法，所述制备方法采用高浓度掺杂的氧化锌纳米粉体与纯氧化锌纳米粉体作为原料，可以实现极低含量的掺杂元素在所得靶材中的均匀分布，并且由于原料均为纳米级，因而可在较低的烧结温度下烧结制得晶粒尺寸小且致密度高的氧化锌基靶材。本发明还公开了所述氧化锌基靶材及其应用。所述制备方法具有工艺简单、成本低、安全环保、可大规模推广的特点。