公开(公告)号：CN118937439A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202410926987.3

申请日：2024-07-11

Applicant: 安徽大学

Inventor： 赵雨农 ,  吴佳顺 ,  张子颜 ,  马明奇 ,  张红洁 ,  朱政旭 ,  刘诚信 ,  钱星雨 ,  陈一诺 ,  李相辉 ,  张慧珊 ,  洪琪 ,  陈士涛 ,  郭小辉 ,  许耀华

IPC: G01N27/30 ,  G01N27/327

Abstract: 本发明公开了一种多层架构式MEMS传感器及其制备方法，包括：上模块和下模块；其中，下模块包括支撑层、第二绝缘层和加热电极层，第二绝缘层设置于支撑层的上表面，加热电极层设置于第二绝缘层的上表面；其中，上模块包括第一绝缘层、叉指电极层和封装层，第一绝缘层的上表面为平面，叉指电极层设置于第一绝缘层的上表面，封装层设置于叉指电极层的上表面上，且封装层上设有用于将叉指电极暴露出的通孔；第一绝缘层设置于加热电极层的上表面。本发明能够提升气体敏感薄膜在加热状态下的结构和性能稳定性。

公开(公告)号：CN119125245A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202411355805.8

申请日：2024-09-27

Applicant: 安徽大学

Inventor： 钱星雨 ,  马明奇 ,  丁思文 ,  刘诚信 ,  朱政旭 ,  吴佳顺 ,  林子涵 ,  李赵斌 ,  张子颜 ,  张红洁 ,  陈一诺 ,  李相辉 ,  赵雨农 ,  郭小辉

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明公开了一种仿生嗅觉系统及其柔性电子鼻，包括：织物基底、柔性气体分子信息感知模块、柔性环形振荡器、柔性气体分子信息存储计算模块，柔性气体分子信息感知模块、柔性环形振荡器和柔性气体分子信息存储计算模块均设置在织物基底上，且柔性气体分子信息感知模块柔性环形振荡器和柔性气体分子信息存储计算模块依次电连接。本发明使得电子鼻的灵活性更高，可以较好地贴合周围环境，赋予其便携性、可穿戴等特点。