公开(公告)号：CN119290151A

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202410352729.9

申请日：2024-03-26

Applicant: 安徽大学 ,  安徽中厚智能科技有限公司

Inventor： 王俊 ,  高毓乾 ,  解贻俊

IPC: G01J1/42 ,  H10F39/10

Abstract: 本发明公开了一种基于周期加载的行波电极光电探测器及提高带宽的方法，行波电极光电探测器包括：光栅、光电探测器、行波电极、可调电阻、加热电极和功率分束器；在行波电极输入端设置GSG电极，使行波电极形成GSG行波电极，并在GSG行波电极上外置可调电阻，使可调电阻与GSG电极连接；多个光电探测器固定位于行波电极上，并与行波电极连接；光栅与功率分束器连接后再分别与多个光电探测器连接；加热电极在光栅与每个光电探测器之间相连的光传输波导线上。行波电极输入端加GSG电极外置可调电阻，在每路探测器的光传输波导线上加热调来调节延时，这样在不可避免的工艺流片与设计误差存在时，依然可以通过两个方式调节使阻抗和延时再匹配，最大限度地提高光电探测器的带宽。

公开(公告)号：CN222379957U

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN202420607109.0

申请日：2024-03-26

Applicant: 安徽大学 ,  安徽中厚智能科技有限公司

Inventor： 王俊 ,  高毓乾 ,  解贻俊

IPC: G02F1/01 ,  G01D5/26 ,  G01J1/42 ,  H05B1/02

Abstract: 本实用新型公开了一种基于周期加载的行波电极光电探测器，包括：光栅、光电探测器、行波电极、可调电阻、加热电极和功率分束器；在行波电极输入端设置GSG电极，使行波电极形成GSG行波电极，并在GSG行波电极上外置可调电阻，使可调电阻与GSG电极连接；多个光电探测器固定位于行波电极上，并与行波电极连接；光栅与功率分束器连接后再分别与多个光电探测器连接；加热电极在光栅与每个光电探测器之间相连的光传输波导线上。行波电极输入端加GSG电极外置可调电阻，在每路探测器的光传输波导线上加热调来调节延时，这样在不可避免的工艺流片与设计误差存在时，依然可以通过两个方式调节使阻抗和延时再匹配，最大限度地提高光电探测器的带宽。

公开(公告)号：CN119153476A

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202411173196.4

申请日：2024-08-26

Applicant: 安徽大学

Inventor： 王俊 ,  高毓乾 ,  许伊曼

IPC: H01L27/144 ,  G01R15/22 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/0224

Abstract: 本发明公开了一种环形轴对称结构的行波光电探测器，包括均布分布在环形传输线上的多个PD，所述环形传输线的两端接有GSG行波电极，且整体呈轴对称结构；光信号经光波导输入端的光栅耦合器进入光波导，且光波导采用多级一分二的功率分束器进行分光，并连接至PD；所述GSG行波电极两层介质结构包括硅衬底和生长在硅衬底顶部的二氧化硅层，所述二氧化硅层的上部是薄硅层，所述薄硅层上面覆盖两层二氧化硅层；所述GSG行波电极的地电极通过通孔接有第一金属层M1，GSG行波电极的信号电极通过通孔接有第二金属层M2。该发明无需增加额外工艺步骤，加工容易，与CMOS工艺完美兼容，可同时提高器件的带宽、饱和输出功率及整体性能。