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公开(公告)号：CN105051608B
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201480017166.2
申请日：2014-03-25
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置及有机电致发光显示装置。感光性树脂组合物可维持高灵敏度，并使耐化学品性变得良好，且进一步降低相对介电常数。该感光性树脂组合物包括：(A)含有满足(1)及(2)的至少一种的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有构成单元(a1)的聚合物及具有构成单元(a2)的聚合物；(B)光酸产生剂；以及(C)溶剂；在(A)聚合物成分中，包含至少一种(a4)含有内酯结构的构成单元，或包含至少一种含有构成单元(a4)、且不含构成单元(a1)及构成单元(a2)的聚合物。
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公开(公告)号：CN105895661A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610087786.4
申请日：2016-02-16
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: H01L27/32 , G02F1/1333 , G03F7/004 , G03F7/008 , G03F7/09 , G03F7/422 , H01L29/66742 , H01L29/786 , H01L29/78603
Abstract: 本发明提供一种薄膜晶体管基板的制造方法及其应用，薄膜晶体管基板即使在以剥离液组合物进行处理之后硬化膜(有机膜)的体积电阻率依旧高。本发明的薄膜晶体管基板的制造方法依序包括至少步骤1～步骤6：步骤1：使用特定的硬化性组合物在薄膜晶体管基板上的至少一部分形成有机膜的步骤；步骤2：在有机膜上的至少一部分形成无机膜的步骤；步骤3：在无机膜上形成抗蚀剂层的步骤；步骤4：对抗蚀剂层进行曝光且显影的步骤；步骤5：经由经显影的抗蚀剂层对无机膜进行蚀刻的步骤；步骤6：使用特定的剥离液组合物将抗蚀剂层剥离除去的步骤。
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公开(公告)号：CN103019032A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210362957.1
申请日：2012-09-25
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置。本发明的感光性树脂组成物的特征在于：含有(成分A)具有缩醛结构且通过酸的作用碱溶解性发生变化的树脂、(成分B)光酸产生剂、(成分C)交联剂及(成分D)溶剂，且成分C包含封端异氰酸酯化合物，所述封端异氰酸酯化合物的母结构为缩二脲结构。
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公开(公告)号：CN104662474B
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201380050101.3
申请日：2013-09-20
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C08F20/06 , C08F20/32 , C08L33/02 , C08L33/14 , G02F1/1333 , G03F7/039 , H01L51/50 , H05B33/22
CPC classification number: H05B33/10 , C08F220/06 , C08F220/28 , C08F220/32 , C09D133/14 , C09J133/14 , G02F1/1333 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/40 , H01L51/0018 , C08F2220/325 , C08F2220/281 , C08L33/14 , C08L33/08
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置。上述感光性树脂组合物含有：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，以及(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物的至少一者；(S)重均分子量为1000～50000，而且包括包含羧基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂以及(C)溶剂；并且上述(S)聚合物的由式(1)所表示的值为50～3000。本发明的感光性树脂组合物不仅维持高感度、透明性以及耐化学品性，并且显影时的密接性优异。
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公开(公告)号：CN104254805B
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201380022517.4
申请日：2013-04-24
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C08G18/62 , C08G18/79 , C08G59/20 , C08G77/388 , C08K5/3477 , C08L101/02 , G03F7/039 , H01L21/027 , H01L51/50 , H05B33/22
CPC classification number: C08G18/6237 , C08F220/10 , C08F220/32 , C08G18/792 , C08G18/8074 , C08K5/34924 , C08K5/42 , C08L63/00 , C09D133/14 , G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/40 , H01L21/02118 , H01L27/3258 , C08F2220/325 , C08F2220/281 , C08F220/06
Abstract: 本发明提供一种感光度高、尺寸稳定性优异、密接性优异、且即便在加热后也可维持高透过率的感光性树脂组合物。一种化学增幅型正型感光性树脂组合物，其包括：(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(S)由下述通式(S)所表示的化合物，(B)光酸产生剂；以及(D)溶剂。
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公开(公告)号：CN106406028A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610580165.X
申请日：2016-07-21
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/004 , G02F1/1333
CPC classification number: G03F7/027 , G02F1/1333 , G02F2001/133357 , G03F7/004
Abstract: 本发明提供涂布性良好、且能够制造与层叠于固化膜上的上层的密合性优异的固化膜的感光性组合物。此外，提供固化膜、液晶显示装置、有机电致发光显示装置及触摸面板的制造方法。一种感光性组合物，其包含聚合物成分、光酸产生剂、溶剂、具有式S1所表示的结构及式S2所表示的结构的化合物S，相对于聚合物成分A100质量份，含有0.001～20质量份的化合物S。式中，波浪线表示与构成化合物S的原子团的键合位置，R1表示烷基，R2表示氢原子或烷基，L1表示单键或2价的连结基团，Rf表示具有3个以上氟原子的氟烷基，L100表示碳原子数为1～12的亚烷基或羰基，R100表示氢原子、羟基或碳原子数为1～12的烷基，n表示0～30的整数。
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公开(公告)号：CN105917274A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201480052174.0
申请日：2014-09-25
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种可使耐化学品性良好、相对介电常数降低、进而使图案的尺寸稳定性良好的感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置。本发明的感光性树脂组合物含有(A)聚合物成分、(B)光酸产生剂、以及(C)溶剂，(A)聚合物成分包含下述(1)及(2)的至少一个：(1)含有(a1)具有酸基经酸分解性基保护的基团的结构单元、及(a2)具有交联性基的结构单元的聚合物(A1)，及(2)含有结构单元(a1)的聚合物(A2)、及含有结构单元(a2)的聚合物(A3)；且(3)聚合物(A1)～聚合物(A3)的至少一种为含有(a4)具有通过碱水解而产生羧基的基团的结构单元的聚合物，或(4)进而含有具有结构单元(a4)且不具有结构单元(a1)及结构单元(a2)的聚合物(A4)；相对于构成(A)聚合物成分的所有结构单元，结构单元(a2)的比例为10摩尔％～40摩尔％，结构单元(a4)的比例为1.0摩尔％～20摩尔％。
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公开(公告)号：CN104254805A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201380022517.4
申请日：2013-04-24
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C08G18/62 , C08G18/79 , C08G59/20 , C08G77/388 , C08K5/3477 , C08L101/02 , G03F7/039 , H01L21/027 , H01L51/50 , H05B33/22
CPC classification number: C08G18/6237 , C08F220/10 , C08F220/32 , C08G18/792 , C08G18/8074 , C08K5/34924 , C08K5/42 , C08L63/00 , C09D133/14 , G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/40 , H01L21/02118 , H01L27/3258 , C08F2220/325 , C08F2220/281 , C08F220/06
Abstract: 本发明提供一种感光度高、尺寸稳定性优异、密接性优异、且即便在加热后也可维持高透过率的感光性树脂组合物。一种化学增幅型正型感光性树脂组合物，其包括：(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(S)由下述通式(S)所表示的化合物，通式(S)(通式(S)中，R1、R2及R3分别为取代基，R1、R2及R3中的至少1个为满足下述(S-1)的取代基)(S-1)具有在(A)聚合物成分与由通式(S)所表示的化合物之间、或由通式(S)所表示的化合物彼此之间，因酸和/或150℃以上的加热而可进行交联的官能基的取代基；(B)光酸产生剂；以及(D)溶剂。
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公开(公告)号：CN105895661B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201610087786.4
申请日：2016-02-16
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种薄膜晶体管基板的制造方法及其应用，薄膜晶体管基板即使在以剥离液组合物进行处理之后硬化膜(有机膜)的体积电阻率依旧高。本发明的薄膜晶体管基板的制造方法依序包括至少步骤1～步骤6：步骤1：使用特定的硬化性组合物在薄膜晶体管基板上的至少一部分形成有机膜的步骤；步骤2：在有机膜上的至少一部分形成无机膜的步骤；步骤3：在无机膜上形成抗蚀剂层的步骤；步骤4：对抗蚀剂层进行曝光且显影的步骤；步骤5：经由经显影的抗蚀剂层对无机膜进行蚀刻的步骤；步骤6：使用特定的剥离液组合物将抗蚀剂层剥离除去的步骤。
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公开(公告)号：CN105324718A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201480035928.1
申请日：2014-06-26
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种制成硬化膜时的耐化学品性良好且相对介电常数低的感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置以及有机EL显示装置。本发明的感光性树脂组合物含有包含以下聚合物的聚合物成分、下述(S)成分、光酸产生剂、溶剂，所述聚合物满足包括具有酸基由酸分解性基所保护的基团的构成单元及具有交联性基的构成单元的聚合物、包含具有酸基由酸分解性基所保护的基团的构成单元的聚合物及包括具有交联性基的构成单元的聚合物的至少一个；并且(S)成分为如下化合物，其包括直链或分支的碳数6～20的脂肪族烃基(可在脂肪族烃基中具有选自-O-、-S-、环状亚烷基及亚芳基中的至少一种基团；其中，在具有2个以上的选自-O-、-S-、环状亚烷基及亚芳基中的基团的情况下，所述2个以上的基团并不邻接)以及具有选自烷氧基硅烷基、封闭型异氰酸酯基、封闭型异硫氰酸酯基、封闭型乙烯酮基、异氰酸酯基、异硫氰酸酯基、硫醇基及噁唑啉基、或者酯基、硫醚基、二硫化物基、酰胺基及氨基甲酸酯基中的至少一种基团的基团，且不具有羧基及醇性羟基，另外，即便与聚合物成分的酸基进行反应，也不产生羧基及醇性羟基的化合物。
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