公开(公告)号：CN103026520A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201180036752.8

申请日：2011-07-22

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 保罗·A·侯森汤恩 ,  杰弗里·比克迈尔 ,  安德烈亚斯·比布尔 ,  麻丝·G·奥特斯森 ,  格雷戈里·德布拉邦德 ,  陈振方 ,  马克·尼珀姆尼萨 ,  杉本真也

IPC: H01L41/33 ,  H01L41/332

CPC classification number: H01L41/332 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/1607 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  H01L41/098 ,  H01L41/22 ,  H01L41/316 ,  H01L41/33

Abstract: 公开了一种用于形成具有弯曲压电膜的致动器的方法。所述方法使用具有被平坦表面包围的弯曲表面的轮廓转移基板形成弯曲压电膜。在从弯曲压电膜的下侧移除轮廓转移基板之前，用于压电致动器的压电材料至少沉积在轮廓转移基板的弯曲表面上。产生的弯曲压电膜包括为柱状并对准的粒状结构，并且所有或基本上所有柱状晶粒局部垂直于压电膜的弯曲表面。

公开(公告)号：CN102126701A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN201110009499.9

申请日：2011-01-12

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 史蒂夫·戴明 ,  陈振方 ,  迈克尔·罗基奥 ,  胡戈·J·米勒

IPC: B81C3/00

CPC classification number: H01L21/67092

Abstract: 结合两个衬底的方法包括：在第一衬底和第二衬底之间放置分隔件；在分隔件在第一衬底和第二衬底之间的情况下，对第一衬底施加压力，以引发第一衬底和第二衬底之间的结合波；和通过平移所述分隔件使其远离第一衬底或第二衬底的中心，控制结合波的移动。

公开(公告)号：CN103026520B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201180036752.8

申请日：2011-07-22

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 保罗·A·侯森汤恩 ,  杰弗里·比克迈尔 ,  安德烈亚斯·比布尔 ,  麻丝·G·奥特斯森 ,  格雷戈里·德布拉邦德 ,  陈振方 ,  马克·尼珀姆尼萨 ,  杉本真也

IPC: H01L41/33 ,  H01L41/332

CPC classification number: H01L41/332 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/1607 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  H01L41/098 ,  H01L41/22 ,  H01L41/316 ,  H01L41/33

Abstract: 公开了一种用于形成具有弯曲压电膜的致动器的方法。所述方法使用具有被平坦表面包围的弯曲表面的轮廓转移基板形成弯曲压电膜。在从弯曲压电膜的下侧移除轮廓转移基板之前，用于压电致动器的压电材料至少沉积在轮廓转移基板的弯曲表面上。产生的弯曲压电膜包括为柱状并对准的粒状结构，并且所有或基本上所有柱状晶粒局部垂直于压电膜的弯曲表面。

公开(公告)号：CN102152632B

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201010537220.X

申请日：2010-11-05

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 陈振方 ,  格雷戈里·德布拉邦德

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/1606 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1642

Abstract: 一种流体喷射器，所述流体喷射器包括流路体、第一氧化物层、膜和第二氧化物层。所述流路体具有第一外表面和相反的第二外表面以及多个流路，每个流路至少从所述第一外表面延伸至所述第二外表面。第一氧化物层至少覆盖流路中的每一个的内表面和流路体的第一和第二外表面，并且具有沿{100}平面变化小于5％的厚度。膜具有第一外表面。第二氧化物层涂覆在膜的第一外表面上，并且具有沿{100}平面变化小于5％的厚度，并且使第二氧化物层与第一氧化物层结合。

公开(公告)号：CN102152632A

公开(公告)日：2011-08-17

申请号：CN201010537220.X

申请日：2010-11-05

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 陈振方 ,  格雷戈里·德布拉邦德

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/1606 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1642

Abstract: 一种流体喷射器，所述流体喷射器包括流路体、第一氧化物层、膜和第二氧化物层。所述流路体具有第一外表面和相反的第二外表面以及多个流路，每个流路至少从所述第一外表面延伸至所述第二外表面。第一氧化物层至少覆盖流路中的每一个的内表面和流路体的第一和第二外表面，并且具有沿{100}平面变化小于5％的厚度。膜具有第一外表面。第二氧化物层涂覆在膜的第一外表面上，并且具有沿{100}平面变化小于5％的厚度，并且使第二氧化物层与第一氧化物层结合。

公开(公告)号：CN102036805A

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN200980118602.4

申请日：2009-05-08

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 陈振方 ,  杰弗里·比克迈尔 ,  安德烈亚斯·比布尔 ,  约翰·A·希金森

IPC: B29C65/00 ,  H01L41/00

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1632 ,  B41J2002/14266 ,  C09J5/02 ,  C09J5/06 ,  H01L41/313

Abstract: 描述的是用于将第一基板结合到第二基板上的方法。用粘合剂层涂布第一基板的表面。将粘合剂层固化到乙阶段。将第一基板的所述表面定位以与第二基板接触。将第一基板的边缘按压到第二基板的边缘上，以引起范德华键合。通过范德华键合允许第一和第二基板聚在一起。对结合的第一和第二基板进行足够时间的充分加热，以完全固化所述粘合剂层。