公开(公告)号：CN103026520B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201180036752.8

申请日：2011-07-22

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 保罗·A·侯森汤恩 ,  杰弗里·比克迈尔 ,  安德烈亚斯·比布尔 ,  麻丝·G·奥特斯森 ,  格雷戈里·德布拉邦德 ,  陈振方 ,  马克·尼珀姆尼萨 ,  杉本真也

IPC: H01L41/33 ,  H01L41/332

CPC classification number: H01L41/332 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/1607 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  H01L41/098 ,  H01L41/22 ,  H01L41/316 ,  H01L41/33

Abstract: 公开了一种用于形成具有弯曲压电膜的致动器的方法。所述方法使用具有被平坦表面包围的弯曲表面的轮廓转移基板形成弯曲压电膜。在从弯曲压电膜的下侧移除轮廓转移基板之前，用于压电致动器的压电材料至少沉积在轮廓转移基板的弯曲表面上。产生的弯曲压电膜包括为柱状并对准的粒状结构，并且所有或基本上所有柱状晶粒局部垂直于压电膜的弯曲表面。

公开(公告)号：CN103026520A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201180036752.8

申请日：2011-07-22

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 保罗·A·侯森汤恩 ,  杰弗里·比克迈尔 ,  安德烈亚斯·比布尔 ,  麻丝·G·奥特斯森 ,  格雷戈里·德布拉邦德 ,  陈振方 ,  马克·尼珀姆尼萨 ,  杉本真也

IPC: H01L41/33 ,  H01L41/332

CPC classification number: H01L41/332 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/1607 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  H01L41/098 ,  H01L41/22 ,  H01L41/316 ,  H01L41/33

Abstract: 公开了一种用于形成具有弯曲压电膜的致动器的方法。所述方法使用具有被平坦表面包围的弯曲表面的轮廓转移基板形成弯曲压电膜。在从弯曲压电膜的下侧移除轮廓转移基板之前，用于压电致动器的压电材料至少沉积在轮廓转移基板的弯曲表面上。产生的弯曲压电膜包括为柱状并对准的粒状结构，并且所有或基本上所有柱状晶粒局部垂直于压电膜的弯曲表面。