公开(公告)号：CN107406981A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680014837.9

申请日：2016-03-02

Applicant: 巴斯夫欧洲公司

Inventor： J·施皮尔曼 ,  F·阿贝尔斯 ,  F·布拉斯伯格 ,  K·费得塞勒 ,  C·席尔德克内希特 ,  D·勒夫勒 ,  T·阿德尔曼 ,  J·弗朗克 ,  K·希尔勒-阿恩特 ,  S·魏戈尼

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/18 ,  C23C16/40 ,  C07D207/08 ,  C07F7/08

CPC classification number: C07F7/0814 ,  C07D207/08 ,  C09D1/00 ,  C23C16/18 ,  C23C16/409 ,  C23C16/45553

Abstract: 本发明属于在基材上产生薄无机膜的方法的领域。特别地，本发明涉及一种方法，其包括使通式(I)化合物变为气态或气溶胶状态和将该通式(I)化合物由该气态或气溶胶状态沉积至固体基材上，其中R1、R2、R3、R4彼此独立地为氢、烷基、芳基或SiA3基团，其中A为烷基或芳基，且R1、R2、R3、R4中的至少两个为SiA3基团，n为1至4的整数，M为金属或半金属，X为与M配位的配体，和m为0至4的整数。

公开(公告)号：CN107075678A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580006067.9

申请日：2015-01-22

Applicant: 巴斯夫欧洲公司

Inventor： K·许 ,  C·席尔德克内希特 ,  J·施皮尔曼 ,  J·弗朗克 ,  F·布拉斯伯格 ,  M·盖特纳 ,  D·勒夫勒 ,  S·魏戈尼 ,  K·希尔勒-阿恩特 ,  K·费得塞勒 ,  F·阿贝尔斯 ,  T·阿德尔曼

IPC: C23C16/455 ,  C07F3/00

CPC classification number: C23C16/45553 ,  C07F3/00 ,  C07F3/003 ,  C07F15/045 ,  C07F15/065

Abstract: 本发明涉及一种产生基材上的薄无机膜的方法，特别是原子层沉积方法。该方法包括使通式(I)的化合物变为气态或气溶胶状态和将通式(I)的化合物由气态或气溶胶状态沉积至固体基材上，其中R1、R2、R3、R4、R5和R6相互独立地为氢、烷基或三烷基甲硅烷基，n为1至3的整数，M为金属或半金属，X为与M配位的配体，且m为0至4的整数。

公开(公告)号：CN108430966A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201680071977.X

申请日：2016-12-09

Applicant: 巴斯夫欧洲公司

Inventor： M·海格斯伯格 ,  J·弗朗克 ,  R·内伦贝格

IPC: C07C203/00 ,  C07F15/02 ,  C07F15/04 ,  C07F15/06

CPC classification number: C07C303/40 ,  C07F17/02 ,  C07C311/48

Abstract: 本发明涉及一种用于制备由芳烃-过渡金属夹心配合物的阳离子和布朗斯台德酸的阴离子组成的盐的方法。