公开(公告)号：CN108386480A

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201810230069.1

申请日：2018-03-20

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 陈新 ,  魏棵榕 ,  尹自强 ,  刘强 ,  张国根 ,  林剑 ,  张霞峰 ,  郭亚文 ,  游杰 ,  周富林 ,  孔德坤

IPC: F16F15/023

Abstract: 本申请属于隔振技术领域，具体涉及一种隔振平台。本申请所提供的隔振平台包括：依次接触连接的支架、基座和工作平台，工作平台背离基座的一侧用于放置精密仪器；支架和基座之间设有用于宏观隔振的气浮隔振装置，工作平台和基座之间设有用于微观隔振的多孔材料构件，多孔材料构件的厚度可调。与现有技术相比，本申请采用气浮隔振装置和多孔材料构件作为隔振元件，可同时实现宏观角度和微观角度的隔振控制，大大提高了隔振平台的隔振效果，具有隔振效果好、结构简单、操作容易和成本低廉等优点。

公开(公告)号：CN107214530B

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN201710632556.6

申请日：2017-07-28

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 刘震 ,  尹自强 ,  刘强 ,  刘浩 ,  张霞峰 ,  郭亚文 ,  林剑 ,  周富林

IPC: B23Q1/38

Abstract: 本发明公开了一种超精密气浮定位平台，包括水平底座、设在底座上的滑台，用于支撑滑台的立柱，用于驱动滑台的直线电机，以及固定在底座一侧且沿滑台移动方向延伸的竖直侧板，直线电机的定子固定在底座上，直线电机的动子与滑台的底面固定连接，立柱固定在滑台的底面，且立柱底部安装有用于产生正压以使滑台垂直悬浮的正压空气轴承，滑台靠近所述侧板的一侧固定有用于保证其沿侧板延伸方向移动的正负压空气轴承；本发明提供的超精密气浮定位平台，结构简单，加工方便，承载能力强，滑台体积较小，通过正负压空气轴承即保证了移动方向又可产生气膜间隙，能够实现滑台的高速度、高精密定位运行。

公开(公告)号：CN107214530A

公开(公告)日：2017-09-29

申请号：CN201710632556.6

申请日：2017-07-28

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 刘震 ,  尹自强 ,  刘强 ,  刘浩 ,  张霞峰 ,  郭亚文 ,  林剑 ,  周富林

IPC: B23Q1/38

CPC classification number: B23Q1/38

Abstract: 本发明公开了一种超精密气浮定位平台，包括水平底座、设在底座上的滑台，用于支撑滑台的立柱，用于驱动滑台的直线电机，以及固定在底座一侧且沿滑台移动方向延伸的竖直侧板，直线电机的定子固定在底座上，直线电机的动子与滑台的底面固定连接，立柱固定在滑台的底面，且立柱底部安装有用于产生正压以使滑台垂直悬浮的正压空气轴承，滑台靠近所述侧板的一侧固定有用于保证其沿侧板延伸方向移动的正负压空气轴承；本发明提供的超精密气浮定位平台，结构简单，加工方便，承载能力强，滑台体积较小，通过正负压空气轴承即保证了移动方向又可产生气膜间隙，能够实现滑台的高速度、高精密定位运行。

公开(公告)号：CN207255698U

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201720936788.6

申请日：2017-07-28

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 刘震 ,  尹自强 ,  刘强 ,  刘浩 ,  张霞峰 ,  郭亚文 ,  林剑 ,  周富林

IPC: B23Q1/38

Abstract: 本实用新型公开了一种超精密气浮定位平台，包括水平底座、设在底座上的滑台，用于支撑滑台的立柱，用于驱动滑台的直线电机，以及固定在底座一侧且沿滑台移动方向延伸的竖直侧板，直线电机的定子固定在底座上，直线电机的动子与滑台的底面固定连接，立柱固定在滑台的底面，且立柱底部安装有用于产生正压以使滑台垂直悬浮的正压空气轴承，滑台靠近所述侧板的一侧固定有用于保证其沿侧板延伸方向移动的正负压空气轴承；本实用新型提供的超精密气浮定位平台，结构简单，加工方便，承载能力强，滑台体积较小，通过正负压空气轴承即保证了移动方向又可产生气膜间隙，能够实现滑台的高速度、高精密定位运行。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利