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公开(公告)号：CN107063078B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201710048714.3
申请日：2017-01-20
Applicant: 广东工业大学
IPC: G01B7/31
Abstract: 本发明公开了一种水平直线度测量装置，包括支座、导轨、气浮上滑台、固定组件、平面平晶、第一电位传感器、第二电位传感器、调节装置和探头，所述气浮上滑台可滑动安装于所述导轨上，所述导轨固定安装于所述支座上；所述平面平晶固定安装于所述固定组件上，所述平面平晶的工作面与固定组件的侧面平行；所述固定组件设于所述气浮上滑台上，所述第一电位传感器和第二电位传感器分别正对于所述固定组件侧面的首、尾端设置；所述调节装置顶压所述固定组件滑动而调节固定组件侧面的首端或尾端；所述探头与所述平面平晶的工作面相接触。本发明还提供一种水平直线度测量方法，具有测量方便、快速和精度高的有益效果。
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公开(公告)号：CN108466173B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201810258380.7
申请日：2018-03-27
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种气浮精密运动平台，真空吸附平台安装在底座的运动轨道上；真空吸附平台通过第一过渡板与直线电机固定连接；直线电机安装在底座上；内置真空发生器设置在真空吸附平台内部；气浮轴承镶嵌在真空吸附平台的底部与两侧；外接真空发生器与真空吸附平台可拆卸连接；真空吸附平台内部设置有第一气路和第二气路，第一气路与内置真空发生器连通，用于吸附工件；第二气路分别与外接真空发生器和气浮轴承连通，用于在真空吸附平台与底座之间产生气膜。解决了现有的超精密磨削机床容易因机械导轨与平台之间存在摩擦和热变形而导致定位和运动精度降低，从而影响工件加工精度的技术问题。
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公开(公告)号：CN108386480A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810230069.1
申请日：2018-03-20
Applicant: 广东工业大学
IPC: F16F15/023
Abstract: 本申请属于隔振技术领域，具体涉及一种隔振平台。本申请所提供的隔振平台包括：依次接触连接的支架、基座和工作平台，工作平台背离基座的一侧用于放置精密仪器；支架和基座之间设有用于宏观隔振的气浮隔振装置，工作平台和基座之间设有用于微观隔振的多孔材料构件，多孔材料构件的厚度可调。与现有技术相比，本申请采用气浮隔振装置和多孔材料构件作为隔振元件，可同时实现宏观角度和微观角度的隔振控制，大大提高了隔振平台的隔振效果，具有隔振效果好、结构简单、操作容易和成本低廉等优点。
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公开(公告)号：CN108466173A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201810258380.7
申请日：2018-03-27
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种气浮精密运动平台，真空吸附平台安装在底座的运动轨道上；真空吸附平台通过第一过渡板与直线电机固定连接；直线电机安装在底座上；内置真空发生器设置在真空吸附平台内部；气浮轴承镶嵌在真空吸附平台的底部与两侧；外接真空发生器与真空吸附平台可拆卸连接；真空吸附平台内部设置有第一气路和第二气路，第一气路与内置真空发生器连通，用于吸附工件；第二气路分别与外接真空发生器和气浮轴承连通，用于在真空吸附平台与底座之间产生气膜。解决了现有的超精密磨削机床容易因机械导轨与平台之间存在摩擦和热变形而导致定位和运动精度降低，从而影响工件加工精度的技术问题。
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公开(公告)号：CN107703719A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201710889877.4
申请日：2017-09-27
Applicant: 广东工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种气浮共面真空预压平台，包括水平底座，平行设置的两个第一基座，以及垂直设在两个第一基座之间的第二基座，两个第一基座上均套有与其滑动连接的第一气浮导轨，第二基座上套有与其滑动连接的第二气浮导轨，且第二基座的两端分别与两个第一气浮导轨固定连接，还包括用于驱动第一气浮导轨沿第一基座滑动的第一直线电机，和用于驱动第二气浮导轨沿第二基座滑动的第二直线电机，第二气浮导轨为真空预压式气浮导轨；整体结构采用共面的H型设置，结构刚度大，承载能力高，且易保证两气浮导轨在两方向运动平面基准的统一，而第二气浮导轨采用真空预压气浮技术可以防止其发生垂直方向的窜动，可以进一步提高精度，保证稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107498324A
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201710832517.0
申请日：2017-09-15
Applicant: 广东工业大学
CPC classification number: B23Q1/38 , B23Q11/0816
Abstract: 本发明公开了一种基于H型气浮导轨的运动平台，包括：载物平台，其底部两侧设有X向气浮导轨；Y向运动基座，其上固定有X向导轨基座，Y向运动基座两端的底部设有Y向气浮导轨；底座上设有Y向直线电机定子，Y向运动基座底部设有Y向直线电机动子；可伸缩的X向防护罩和Y向防护罩，Y向运动基座的两侧设有X向防护安装板，底座的两侧设有Y向防护安装板。当运动平台工作时，X向气浮导轨和Y向气浮导轨通入气体，调节气膜间隙，在X向直线电机和Y向直线电机的驱动下，即可实现运动平台的低摩擦运动。此外，通过X向防护罩和Y向防护罩，可防止生产加工产生的废屑进入气浮工作面内，进而影响运动平台的运动精度和正常工作。
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公开(公告)号：CN107378644A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710662413.X
申请日：2017-08-04
Applicant: 广东工业大学
IPC: B23Q17/24
CPC classification number: B23Q17/2409
Abstract: 本发明公开了一种微结构切割机床的CCD夹具，包括水平调节装置、微调节装置和竖直调节装置，所述水平调节装置通过微调节装置与所述竖直调节装置连接；所述水平调节装置驱动竖直调节装置在圆弧上运动；所述微调节装置控制竖直调节装置的运动圆弧的半径值；所述竖直调节装置上安装有CCD相机；所述竖直调节装置驱动CCD相机在竖直方向上运动。本发明采用粗调节和精调节，快速和慢速调节结合的结构，使得CCD相机在水平面上能被灵活调节，调节方便、快速且精度高。能根据需要调节CCD相机与拍摄对象之间的距离，实现对CCD相机的焦距进行调节，可适用长距离要求的工作场合，通用性高。
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公开(公告)号：CN107030656A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710321351.6
申请日：2017-05-09
Applicant: 广东工业大学
IPC: B25H1/00
CPC classification number: B25H1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于光学反馈的平面气浮工作台，包括下面板、上面板、用于驱动上面板的电磁式驱动单元、用于悬浮上面板的气浮单元、用于定位的红外传感器组、以及用于引导和定位上面板运动的控制单元；本发明首先通过气浮轴承在上面板底部产生气体刚膜，使上面板悬浮在空中并能自由移动；然后根据设定的运动轨迹分时驱动横向线圈和纵向线圈工作，使上面板快速横向或纵向蠕动；最后位于5个方位上的红外收发器分别向上面板反射不同波长的红外线，并通过接收反射回来的红外图像数据确定上面板的实时位置，从而确定横向和纵向驱动器的驱动时间，提高平台的相应速度和定位精度。本发明结构简单、体积小、承载能力较强而且定位精度高、运行平稳可靠。
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公开(公告)号：CN106862958A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710090226.9
申请日：2017-02-20
Applicant: 广东工业大学
IPC: B23Q3/06
Abstract: 本发明公开了一种微结构切割机床的自动夹紧装置，包括底座、下固件、上固件、顶压装置和控制器，所述底座上固定安装有套杯，所述下固件上套设有工件，所述上固件盖合于所述下固件上而将工件顶压于下固件上；所述下固件和上固件设于所述套杯内，所述套杯的壁上开有通孔，所述顶压装置的输出轴通过所述通孔顶压于所述上固件上；所述控制器与所述顶压装置电连接。本发明控制器控制顶压装置停止运动，则此时上固件受到顶压装置的顶压力作用下而将工作紧压在下固件上，从而使得机床能顺利地下刀对工件进行切割。由于工件被紧压于下固件和上固件之间，工件不会发生夹紧变形的情况，保证了机床刀具切割的精度，提高了加工的产品质量和成品率。
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公开(公告)号：CN107486728A
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201710734835.3
申请日：2017-08-24
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种工作平台，包括基台、移动台、安装在基台上且对移动台导向的第一导轨，还包括第一气浮轴承，第一气浮轴承套设在第一导轨上并且内腔在正压状态下能够沿第一导轨导向方向滑动、内腔在负压状态下能够吸附固定在第一导轨上，第一气浮轴承与移动台沿第一导轨的导向方向相对固定。在该工作平台上，在移动台与第一导轨之间设置了第一气浮轴承，第一气浮轴承供入正压时可以随意沿第一导轨滑动，使得移动台可以沿第一导轨随意滑动，而将第一气浮轴承调节成负压时，此时第一气浮轴承锁附在第一导轨上，而使移动台无法再见沿第一导轨的导向方向移动。综上，该工作台可以有效地解决移动台位置固定效果不好的问题。
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