公开(公告)号：CN103503113B

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201280021873.X

申请日：2012-04-20

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 马塞尔·E·约瑟夫森 ,  戴维·K·卡尔森 ,  史蒂夫·江珀 ,  埃罗尔·安东尼奥·C·桑切斯

IPC: H01L21/02

CPC classification number: G05D7/0641 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/6416 ,  Y10T137/7043 ,  Y10T137/8593

Abstract: 本发明公开的化学输送系统的实施例可包括：外壳；设置在外壳内的第一隔室，且第一隔室具有运送第一组化学物种的多个第一导管，第一隔室进一步具有帮助净化气体流经该第一隔室的第一吸气开口和第一排气开口；和设置在外壳内的第二隔室，且第二隔室具有运送第二组化学物种的多个第二导管，第二隔室进一步具有帮助该净化气体流经第二隔室的第二吸气开口和第二排气开口，其中第一组化学物种不同于第二组化学物种，且其中净化气体流经第二隔室吸气速度大于净化气体流经第一隔室的吸气速度。

公开(公告)号：CN103503113A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201280021873.X

申请日：2012-04-20

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 马塞尔·E·约瑟夫森 ,  戴维·K·卡尔森 ,  史蒂夫·江珀 ,  埃罗尔·安东尼奥·C·桑切斯

IPC: H01L21/02

CPC classification number: G05D7/0641 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/6416 ,  Y10T137/7043 ,  Y10T137/8593

Abstract: 本发明公开的化学输送系统的实施例可包括：外壳；设置在外壳内的第一隔室，且第一隔室具有运送第一组化学物种的多个第一导管，第一隔室进一步具有帮助净化气体流经该第一隔室的第一吸气开口和第一排气开口；和设置在外壳内的第二隔室，且第二隔室具有运送第二组化学物种的多个第二导管，第二隔室进一步具有帮助该净化气体流经第二隔室的第二吸气开口和第二排气开口，其中第一组化学物种不同于第二组化学物种，且其中净化气体流经第二隔室吸气速度大于净化气体流经第一隔室的吸气速度。