公开(公告)号：CN114342060A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202080062434.8

申请日：2020-07-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 李建 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 ,  Z·J·叶 ,  D·R·B·拉杰 ,  S·斯里瓦斯塔瓦 ,  韩新海 ,  D·帕德希 ,  胡可嵩 ,  C-Y·王

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01J37/32 ,  H01L21/67

Abstract: 示例性支撑组件可包括限定基板支撑表面的静电吸盘主体。所述组件可包括与静电吸盘主体耦接的支撑杆。所述组件可包括嵌入在静电吸盘主体内的加热器。所述组件还可包括在加热器与基板支撑表面之间嵌入静电吸盘主体内的电极。基板支撑组件可由在大于500℃或约为500℃的温度下和在大于600V或约为600V的电压下通过静电吸盘主体的小于4mA或约为4mA的泄漏电流来表征。