公开(公告)号：CN109314050A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780035156.5

申请日：2017-06-08

Applicant: 应用材料公司

Inventor： E·刘 ,  K·Y·兴 ,  C·C·加勒森 ,  J·钱 ,  T·H·奥斯特赫尔德 ,  S·M·达塔 ,  D·崔

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/3212 ,  G01B11/03 ,  G01B11/06 ,  G01B11/306 ,  G01B21/08 ,  G01B21/30 ,  H01L21/304 ,  H01L21/31053 ,  H01L22/00 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

Abstract: 一种用于使用研磨模块研磨基板上管芯位置的方法。在计量站预先测量所述基板上选择的位置处的厚度，每个位置对应于单个管芯的位置。将所述计量站针对所选择的基板的所述位置所获得的所述厚度提供给研磨模块的控制器。针对所述基板上每个所选择的位置确定厚度改正。针对每个所选择的位置由所述厚度改正形成研磨配方中的研磨步骤。计算针对每个管芯位置的研磨参数以用于所述配方。

公开(公告)号：CN109314050B

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN201780035156.5

申请日：2017-06-08

Applicant: 应用材料公司

Inventor： E·刘 ,  K·Y·兴 ,  C·C·加勒森 ,  J·钱 ,  T·H·奥斯特赫尔德 ,  S·M·达塔 ,  D·崔

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67

Abstract: 一种用于使用研磨模块研磨基板上管芯位置的方法。在计量站预先测量所述基板上选择的位置处的厚度，每个位置对应于单个管芯的位置。将所述计量站针对所选择的基板的所述位置所获得的所述厚度提供给研磨模块的控制器。针对所述基板上每个所选择的位置确定厚度改正。针对每个所选择的位置由所述厚度改正形成研磨配方中的研磨步骤。计算针对每个管芯位置的研磨参数以用于所述配方。