一种保证薄膜平面度的薄膜夹紧装置

    公开(公告)号:CN119660436A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202411975402.3

    申请日:2024-12-31

    Applicant: 延边大学

    Abstract: 本发明公开了一种保证薄膜平面度的薄膜夹紧装置,包括矩形基座,所述矩形基座下壁面且靠近四角处均安装有立柱,所述立柱下壁面固定有垫板,所述矩形基座上安装有矩形框架,所述矩形框架,所述矩形框架内设有薄膜传送结构,所述矩形框架上设有限位夹紧结构。本发明涉及薄膜平面度的薄膜夹紧技术领域,本发明的有益效果是,通过薄膜传送结构中的热水循环系统对薄膜进行加热,使薄膜受热均匀,有效消除薄膜的应力和变形,提高了薄膜的平面度,限位夹紧结构能够对薄膜进行稳定的夹紧和限位,避免薄膜在传送过程中发生偏移,保证了薄膜的加工质量。

    一种基于磁控溅射加工的氧化锌掺杂薄膜加工设备

    公开(公告)号:CN119876880A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202510216319.6

    申请日:2025-02-26

    Applicant: 延边大学

    Abstract: 本发明涉及薄膜加工技术领域,尤其涉及一种基于磁控溅射加工的氧化锌掺杂薄膜加工设备,包括放卷室、处理室、磁控溅射室、蒸发室、冷却室和收卷室,所述磁控溅射室包括第一磁控镀膜辊、溅射靶座、溅射导向轮、第二磁控镀膜辊和溅射变向轮,所述溅射导向轮沿所述薄膜的输送方向设置在所述磁控溅射室内,所述溅射变向轮引导所述薄膜先通过第一磁控镀膜辊进行正面镀膜,以及后通过所述第二磁控镀膜辊进行反面镀膜。该设备无需对完成镀膜后的薄膜进行二次装卸,避免对镀好的薄膜造成损坏,有利于提高产品的质量,镀膜时无需开腔及二次抽真空,能够简化工艺,节约时间,有利于提高生产效率,降低生产成本。

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