公开(公告)号：CN107408480A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680013323.1

申请日：2016-02-25

Applicant: 攀时奥地利公司

Inventor： 托马斯·韦宁豪斯 ,  伯恩哈德·迈尔-施莫尔奇 ,  马丁·卡特赖因

IPC: H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明描述一种离子注入机，离子注入机包含至少一个由群组W、W合金、Mo和Mo合金的难熔金属构成的组件。组件的表面至少区域性地具有涂层，涂层至少区域性地由至少一种化合物形成，化合物具有选自C、B及N组成的群组的至少一种元素和选自W及Mo组成的群组的至少一种元素。

公开(公告)号：CN107408480B

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201680013323.1

申请日：2016-02-25

Applicant: 攀时奥地利公司

Inventor： 托马斯·韦宁豪斯 ,  伯恩哈德·迈尔-施莫尔奇 ,  马丁·卡特赖因

IPC: H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明描述一种离子注入机，离子注入机包含至少一个由群组W、W合金、Mo和Mo合金的难熔金属构成的组件。组件的表面至少区域性地具有涂层，涂层至少区域性地由至少一种化合物形成，化合物具有选自C、B及N组成的群组的至少一种元素和选自W及Mo组成的群组的至少一种元素。