-
公开(公告)号：CN107027315B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201580036666.5
申请日：2015-06-30
Applicant: 攀时奥地利公司
Abstract: 本发明涉及一种用于制造层或由层构成的主体的方法，其中具有>10巴的压力的工艺气体在渐缩‑渐扩喷嘴中被加速，并且由颗粒形成且由Mo、W、Mo基合金或W基合金组成的涂覆材料被注入到所述工艺气体中。所述颗粒至少部分地以聚集体和/或附聚物形式存在。因此有可能制造致密的层和部件。此外，本发明包含具有微结构的层和部件，所述微结构包含具有高纵横比的冷成形晶粒。
-
公开(公告)号：CN107408480A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680013323.1
申请日：2016-02-25
Applicant: 攀时奥地利公司
Inventor： 托马斯·韦宁豪斯 , 伯恩哈德·迈尔-施莫尔奇 , 马丁·卡特赖因
IPC: H01J27/02 , H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 本发明描述一种离子注入机，离子注入机包含至少一个由群组W、W合金、Mo和Mo合金的难熔金属构成的组件。组件的表面至少区域性地具有涂层，涂层至少区域性地由至少一种化合物形成，化合物具有选自C、B及N组成的群组的至少一种元素和选自W及Mo组成的群组的至少一种元素。
-
公开(公告)号：CN106133191A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201480068640.4
申请日：2014-12-17
Applicant: 攀时奥地利公司
Abstract: 本发明涉及一种包含富含Cr的区域的涂布材料，所述区域的Cr含量>95质量％，其形成含Cr粒子。所述粒子至少部分呈聚集物或聚结物形式，至少部分提供有孔，具有在所述富含Cr的区域中≤4gpa的平均纳米硬度HIT 0.005/5/1/5和/或通过BET测量的>0.05m2/g的平均表面积。所述涂布材料尤其较适用于冷气喷涂。本发明进一步涉及一种产生层的方法和一种使用所述方法产生的层。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106574324B
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201580044609.1
申请日：2015-08-10
Applicant: 攀时奥地利公司
Inventor： 哈拉尔德·科斯滕鲍尔 , 朱迪思·科斯滕鲍尔 , 格哈德·莱希特弗雷德 , 约尔格·温克勒 , 黄茂成 , 马丁·卡特赖因 , 伊丽莎白·艾登伯格
IPC: C22C1/04 , C23C14/34 , C23C24/04 , H01L23/532
Abstract: 本发明涉及一种用于薄膜部件的金属镀层以及用于制造金属镀层的方法。本发明此外涉及一种含Al以及Ti和常见杂质的由Mo基合金组成的溅镀靶以及一种用于制造由Mo基合金组成的溅镀靶的方法。
-
公开(公告)号：CN107408480B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201680013323.1
申请日：2016-02-25
Applicant: 攀时奥地利公司
Inventor： 托马斯·韦宁豪斯 , 伯恩哈德·迈尔-施莫尔奇 , 马丁·卡特赖因
IPC: H01J27/02 , H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 本发明描述一种离子注入机，离子注入机包含至少一个由群组W、W合金、Mo和Mo合金的难熔金属构成的组件。组件的表面至少区域性地具有涂层，涂层至少区域性地由至少一种化合物形成，化合物具有选自C、B及N组成的群组的至少一种元素和选自W及Mo组成的群组的至少一种元素。
-
公开(公告)号：CN107027315A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201580036666.5
申请日：2015-06-30
Applicant: 攀时奥地利公司
Abstract: 本发明涉及一种用于制造层或由层构成的主体的方法，其中具有>10巴的压力的工艺气体在渐缩‑渐扩喷嘴中被加速，并且由颗粒形成且由Mo、W、Mo基合金或W基合金组成的涂覆材料被注入到所述工艺气体中。所述颗粒至少部分地以聚集体和/或附聚物形式存在。因此有可能制造致密的层和部件。此外，本发明包含具有微结构的层和部件，所述微结构包含具有高纵横比的冷成形晶粒。
-
公开(公告)号：CN106574324A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580044609.1
申请日：2015-08-10
Applicant: 攀时奥地利公司
Inventor： 哈拉尔德·科斯滕鲍尔 , 朱迪思·科斯滕鲍尔 , 格哈德·莱希特弗雷德 , 约尔格·温克勒 , 黄茂成 , 马丁·卡特赖因 , 伊丽莎白·艾登伯格
IPC: C22C1/04 , C23C14/34 , C23C24/04 , H01L23/532
Abstract: 本发明涉及一种用于薄膜部件的金属镀层以及用于制造金属镀层的方法。本发明此外涉及一种含Al以及Ti和常见杂质的由Mo基合金组成的溅镀靶以及一种用于制造由Mo基合金组成的溅镀靶的方法。
-
公开(公告)号：CN106133191B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201480068640.4
申请日：2014-12-17
Applicant: 攀时奥地利公司
Abstract: 本发明涉及一种包含富含Cr的区域的涂布材料，所述区域的Cr含量>95质量％，其形成含Cr粒子。所述粒子至少部分呈聚集物或聚结物形式，至少部分提供有孔，具有在所述富含Cr的区域中≤4GPa的平均纳米硬度HIT 0.005/5/1/5和/或通过BET测量的>0.05m2/g的平均表面积。所述涂布材料尤其较适用于冷气喷涂。本发明进一步涉及一种产生层的方法和一种使用所述方法产生的层。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.023 seconds)
