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1.

发明公开
电弧蒸发器,驱动电弧蒸发器的方法及离子电镀设备失效转让

公开(公告)号：CN1354275A

公开(公告)日：2002-06-19

申请号：CN01137616.3

申请日：2001-09-26

Applicant: 新明和工业株式会社 , 西铁城时计株式会社

Inventor： 泷川志朗 , 能势功一 , 小泉康浩 , 堀崇展 , 宫行男

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C16/515 , C23C14/325 , C23C14/545 , C23C16/517

Abstract: 一种电弧蒸发器,包括:阳极;作为阴极的蒸发源电极;以及用于产生穿过阳极和蒸发源电极的AC方波电弧电流的电流控制单元。

2.

发明授权
电弧蒸发器,驱动电弧蒸发器的方法及离子电镀设备失效转让

公开(公告)号：CN1188541C

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN01137616.3

申请日：2001-09-26

Applicant: 新明和工业株式会社 , 西铁城时计株式会社

Inventor： 泷川志朗 , 能势功一 , 小泉康浩 , 堀崇展 , 宫行男

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C16/515 , C23C14/325 , C23C14/545 , C23C16/517

Abstract: 一种电弧蒸发器，包括：阳极；作为阴极的蒸发源电极；以及用于产生穿过阳极和蒸发源电极的AC方波电弧电流的电流控制单元。

3.

发明授权
电弧蒸发器，驱动电弧蒸发器的方法及离子电镀设备失效转让复审申请

公开(公告)号：CN1632160B

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN200410098355.5

申请日：2001-09-26

Applicant: 新明和工业株式会社

Inventor： 泷川志朗 , 能势功一 , 小泉康浩 , 堀崇展 , 宫行男

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C16/515 , C23C14/325 , C23C14/545 , C23C16/517

Abstract: 一种电弧蒸发器，包括：阳极；作为阴极的蒸发源电极；以及用于产生穿过阳极和蒸发源电极的AC方波电弧电流的电流控制单元。

4.

发明公开
电弧蒸发器，驱动电弧蒸发器的方法及离子电镀设备失效转让复审申请

公开(公告)号：CN1632160A

公开(公告)日：2005-06-29

申请号：CN200410098355.5

申请日：2001-09-26

Applicant: 新明和工业株式会社 , 西铁城时计株式会社

Inventor： 泷川志朗 , 能势功一 , 小泉康浩 , 堀崇展 , 宫行男

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C16/515 , C23C14/325 , C23C14/545 , C23C16/517

Abstract: 一种电弧蒸发器，包括：阳极；作为阴极的蒸发源电极；以及用于产生穿过阳极和蒸发源电极的AC方波电弧电流的电流控制单元。

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