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公开(公告)号：CN103650641A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201280034342.4
申请日：2012-08-02
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/562 , C23C14/564 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 一种有机EL元件的制造方法，其中，使阴影掩模介入在与输送部相抵接的基材以及与上述输送部相对且配置在与上述基材接近的位置的蒸镀源的喷嘴之间且该阴影掩模在上述基材的附近，该阴影掩模具有以旋转轴为中心进行旋转驱动的板状的旋转体并在该旋转体上形成有开口部，使上述阴影掩模以追随上述基材的移动的方式旋转并自上述喷嘴喷出气化了的有机EL膜的结构层形成材料，从而在上述基材上的与上述输送部相反的面侧形成有机EL膜的结构层。
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公开(公告)号：CN103155702A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201180049580.8
申请日：2011-10-06
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H05B33/145 , H01L25/048 , H01L51/0097 , H01L51/5203 , H01L51/5253 , H01L51/56 , H01L2251/5338 , H01L2251/566 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种能够以低成本制造的、亮度不均匀较少的有机电致发光装置，将多个带状的有机电致发光元件（2）在端子用区域（3）内的特定部位与连接于通电用电极端子（5、5’）的电线（4、4’）连接，并将其安装在大致平板状的母材（1）上。
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公开(公告)号：CN103503567A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201280021507.4
申请日：2012-10-17
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , B65H23/32 , B65H2301/5114 , C23C14/12 , C23C14/562 , H01L51/0008
Abstract: 本发明提供能够制造抑制了质量降低的有机EL器件的有机EL器件的制造方法和制造装置。有机EL器件的制造方法是在使带状的基材沿着长度方向移动的同时、通过蒸镀在该基材上形成机EL元件的结构层的有机EL器件的制造方法，其中，包括如下结构层形成工序：在使上述基材沿着长度方向移动的同时，利用沿着该基材的移动方向设置的朝上蒸镀部和横向蒸镀部，从蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀，该结构层形成工序包括朝上蒸镀工序、横向蒸镀工序、以及方向改变工序。
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公开(公告)号：CN103283307A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201280003847.4
申请日：2012-12-10
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/5012 , C23C14/042 , C23C14/562 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种不需要以往那样的带状的阴影掩模、但也能够将来自蒸镀源的气化材料以期望的图案蒸镀到基材上的有机EL元件的制造方法和制造装置。遮蔽部（51）构成为能够被切换到如下位置：配置在蒸镀源（4）和基材（81）之间来遮蔽基材（81）的遮蔽位置和自蒸镀源（4）和基材（81）之间退避来解除对基材（81）的遮蔽的遮蔽解除位置。并且，遮蔽部（51）一边与辊（3）一起旋转，一边被切换到遮蔽位置和遮蔽解除位置。
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公开(公告)号：CN114788425A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202080086158.9
申请日：2020-12-02
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 布线电路基板(1)的制造方法具备：第1工序，在该第1工序中，在金属片(25)的厚度方向一侧的面形成基底绝缘层(7)；第2工序，在该第2工序中，将导体层(8)以布线(16)的宽度(W3)比布线体基底部(13)的宽度(W2)窄的方式，形成于基底绝缘层(7)的厚度方向一侧的面；第3工序，在该第3工序中，将覆盖绝缘层(9)以覆盖布线(16)且布线体覆盖部(19)的宽度(W4)比布线体基底部(13)的宽度(W2)窄的方式，形成于布线体基底部(13)的从布线(16)暴露的部分的厚度方向一侧的面；以及第4工序，在该第4工序中，从厚度方向两侧对金属片(25)进行蚀刻，从而以布线体金属部(10)的宽度(W1)比布线体基底部(13)的宽度(W2)窄的方式形成金属支承层(6)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103283307B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201280003847.4
申请日：2012-12-10
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/5012 , C23C14/042 , C23C14/562 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种不需要以往那样的带状的阴影掩模、但也能够将来自蒸镀源的气化材料以期望的图案蒸镀到基材上的有机EL元件的制造方法和制造装置。遮蔽部（51）构成为能够被切换到如下位置：配置在蒸镀源（4）和基材（81）之间来遮蔽基材（81）的遮蔽位置和自蒸镀源（4）和基材（81）之间退避来解除对基材（81）的遮蔽的遮蔽解除位置。并且，遮蔽部（51）一边与辊（3）一起旋转，一边被切换到遮蔽位置和遮蔽解除位置。
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公开(公告)号：CN104170529A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201380014727.9
申请日：2013-03-07
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H05B33/10 , C23C14/042 , C23C14/06 , C23C14/22 , C23C14/50 , C23C14/562 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 一种不需要以往那样的带状阴影掩模、且也能够将来自蒸镀源的气化材料以期望的图案蒸镀到基材上、能够修正由于输送时会产生的基材的错位所带来的影响的有机EL元件的制造方法和制造装置。有机EL元件的制造装置利用第1驱动装置使辊以规定的旋转速度旋转，而输送与辊接触的基材。该制造装置进行该输送，并且使来自蒸镀源的气化材料蒸镀到基材上。该制造装置通过利用第2驱动装置驱动遮蔽装置，使该遮蔽装置以规定的转动速度绕辊的轴心转动，进行基材的遮蔽和遮蔽解除。第2驱动装置以使遮蔽装置的转动速度与辊的旋转速度不同的方式改变遮蔽装置的转动速度。
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公开(公告)号：CN103583083A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201280027706.6
申请日：2012-10-17
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/001 , B65H23/32 , B65H2301/5114 , B65H2301/51145 , C23C14/12 , C23C14/562 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 本发明提供一种有机EL器件的制造方法及制造装置，其能够制造抑制了品质下降的有机EL器件。有机EL器件的制造方法为一边使带状的基材沿其长度方向移动一边利用蒸镀在该基材上形成有机EL元件的结构层的有机EL器件的制造方法，该制造方法包括结构层形成工序，在该结构层形成工序中，一边使上述基材沿其长度方向移动，一边在沿着该基材的移动方向设置的第1蒸镀部及第2蒸镀部自蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀，该结构层形成工序包括多个朝上蒸镀工序，以及方向变换工序。
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公开(公告)号：CN112544125A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201980052621.5
申请日：2019-07-12
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 在布线电路基板集合体片划分出排列配置有作为产品的多个布线电路基板的产品区域和包围产品区域的余量区域，余量区域具有与产品区域相邻的第1区和相对于第1区而言位于产品区域的相反侧的第2区，该布线电路基板集合体片具有虚设布线电路基板，该虚设布线电路基板配置于第1区的至少局部并且比布线电路基板小。
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公开(公告)号：CN103155705B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201180048747.9
申请日：2011-11-04
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/12 , C23C14/562 , H01L51/0008 , H01L51/001
Abstract: 本发明提供一种有机EL元件的制造方法。有机EL元件的制造方法包括蒸镀工序，在蒸镀工序中，供给基材，使该基材的非电极层侧与驱动而旋转的筒状辊表面相抵接而使该基材移动并自蒸镀源的喷嘴喷出气化的有机层形成材料，在上述基材的电极层侧形成有机层，在有机EL元件的制造方法中，使用能够对距被上述筒状辊支承的上述基材的第1距离进行测量的距离测量部、能够调整上述蒸镀源的喷嘴与上述基材的表面之间的第2距离的位置调整部，根据上述距离测量部的上述第1距离的测量结果一边利用上述位置调整部以使上述第2距离恒定的方式进行控制一边进行上述蒸镀工序。
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