公开(公告)号：CN112823432B

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN201980062655.2

申请日：2019-09-27

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 中村大辅 ,  永冈直树 ,  黑濑爱美 ,  待永广宣 ,  石川岳人 ,  柳谷隆彦 ,  清水贵博

IPC: H10N30/853 ,  C23C14/08 ,  H10N30/88 ,  H10N30/076 ,  H10N30/079

Abstract: 提供一种机械能与电能之间的转化能力高的压电器件。压电器件具有第1电极层、第2电极层、以及上述第1电极层与上述第2电极层之间所配置的压电体层，上述压电体层向具有纤锌矿型的晶体结构的ZnO系材料中添加不表现导电性的金属，厚度振动模式下的机电耦合系数的平方值为6.5％以上。

公开(公告)号：CN112823432A

公开(公告)日：2021-05-18

申请号：CN201980062655.2

申请日：2019-09-27

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 中村大辅 ,  永冈直树 ,  黑濑爱美 ,  待永广宣 ,  石川岳人 ,  柳谷隆彦 ,  清水贵博

IPC: H01L41/187 ,  C23C14/08 ,  H01L41/053 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

Abstract: 提供一种机械能与电能之间的转化能力高的压电器件。压电器件具有第1电极层、第2电极层、以及上述第1电极层与上述第2电极层之间所配置的压电体层，上述压电体层向具有纤锌矿型的晶体结构的ZnO系材料中添加不表现导电性的金属，厚度振动模式下的机电耦合系数的平方值为6.5％以上。