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公开(公告)号：CN107533000A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680019938.5
申请日：2016-03-29
Applicant: 日本电信电话株式会社 , 三菱重工业株式会社
IPC: G01N21/3504 , G01N21/03 , G01N21/39 , G01N21/61
Abstract: 本发明提供一种N2O分析装置，具备：光源(11)，对包含N2O、H2O和CO2的废气(5)照射激光；光接收器(13)，接收对废气(5)照射的上述激光；控制装置(14)的光源控制部(14a)，将光源(11)所照射的上述激光的波长控制为3.84μm～4.00μm；以及控制装置(14)的信号分析部(14b)，使用光接收器(13)所接收的上述激光和控制装置(14)的光源控制部(14a)所控制的上述激光，利用红外分光法演算N2O浓度。
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公开(公告)号：CN107430068B
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201680020110.1
申请日：2016-03-29
Applicant: 日本电信电话株式会社 , 三菱重工业株式会社
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明提供可以不进行前处理而准确且迅速地测量废气中的SO3浓度的SO3分析装置及分析方法。所述SO3分析装置具备：光源(11)，对包含SO3、CO2和H2O的废气(1)照射激光(2)；光接收器(13)，接收对废气(1)照射的上述激光(2)；控制装置(14)的光源控制部(14a)，将光源(11)所照射的上述激光(2)的波长控制为4.060μm～4.182μm；以及控制装置(14)的浓度演算部(14b)，基于来自光接收器(13)的输出和来自光源控制部(14a)的参照信号，利用红外分光法演算SO3浓度。
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公开(公告)号：CN107533000B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201680019938.5
申请日：2016-03-29
Applicant: 日本电信电话株式会社 , 三菱重工业株式会社
IPC: G01N21/3504 , G01N21/03 , G01N21/39 , G01N21/61
Abstract: 本发明提供一种N2O分析装置，具备：光源(11)，对包含N2O、H2O和CO2的废气(5)照射激光；光接收器(13)，接收对废气(5)照射的上述激光；控制装置(14)的光源控制部(14a)，将光源(11)所照射的上述激光的波长控制为3.84μm～4.00μm；以及控制装置(14)的信号分析部(14b)，使用光接收器(13)所接收的上述激光和控制装置(14)的光源控制部(14a)所控制的上述激光，利用红外分光法演算N2O浓度。
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公开(公告)号：CN107430068A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680020110.1
申请日：2016-03-29
Applicant: 日本电信电话株式会社 , 三菱重工业株式会社
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明提供可以不进行前处理而准确且迅速地测量废气中的SO3浓度的SO3分析装置及分析方法。所述SO3分析装置具备：光源(11)，对包含SO3、CO2和H2O的废气(1)照射激光(2)；光接收器(13)，接收对废气(1)照射的上述激光(2)；控制装置(14)的光源控制部(14a)，将光源(11)所照射的上述激光(2)的波长控制为4.060μm～4.182μm；以及控制装置(14)的浓度演算部(14b)，基于来自光接收器(13)的输出和来自光源控制部(14a)的参照信号，利用红外分光法演算SO3浓度。
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公开(公告)号：CN106662880B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201580034665.7
申请日：2015-01-20
Applicant: 三菱重工业株式会社
Abstract: 具备：无人漂浮机(11)具备通过远程操作来使其在例如锅炉炉膛等构造物的内部空中悬浮以及移动的漂浮单元即例如螺旋桨(22)；距离测量部(12)，被搭载于无人漂浮机(11)，对该无人漂浮机(11)与构造物的内壁面的距离进行测量；惯性测量部(IMU)，被搭载于该无人漂浮机(11)，对其机体姿势进行掌握；摄像部(13)，被搭载于无人漂浮机(11)，对构造物的壁面侧的构造体(例如配管等)进行拍摄；操作部，对无人漂浮机(11)进行远程操作；飞行位置信息获取部，根据距离测量部(12)的信息和惯性测量部的信息，获取无人漂浮机(11)的当前位置信息；和监视器部，对来自摄像部(13)的图像信息和来自飞行位置信息获取部的位置信息进行显示。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106662880A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580034665.7
申请日：2015-01-20
Applicant: 三菱重工业株式会社
Abstract: 具备：无人漂浮机(11)具备通过远程操作来使其在例如锅炉炉膛等构造物的内部空中悬浮以及移动的漂浮单元即例如螺旋桨(22)；距离测量部(12)，被搭载于无人漂浮机(11)，对该无人漂浮机(11)与构造物的内壁面的距离进行测量；惯性测量部(IMU)，被搭载于该无人漂浮机(11)，对其机体姿势进行掌握；摄像部(13)，被搭载于无人漂浮机(11)，对构造物的壁面侧的构造体(例如配管等)进行拍摄；操作部，对无人漂浮机(11)进行远程操作；飞行位置信息获取部，根据距离测量部(12)的信息和惯性测量部的信息，获取无人漂浮机(11)的当前位置信息；和监视器部，对来自摄像部(13)的图像信息和来自飞行位置信息获取部的位置信息进行显示。
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公开(公告)号：CN101956574A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010230167.9
申请日：2010-07-13
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: F01D5/3038 , F01D5/3053 , F01D5/32 , F05D2220/31 , F05D2250/292
Abstract: 本发明提供一种牢固地固着张紧键、动叶片和特殊动叶片的旋转体。该旋转体(1)具备：转子盘(10)，具有沿外周环状地设置的动叶片嵌合槽(11)和设置于外周并与动叶片嵌合槽(11)连通的动叶片导入孔(12)；动叶片(20)，在所述外周连续设置多个，且具有嵌合于动叶片嵌合槽(11)的叶根(21)和向转子盘(10)的外侧突出的叶片主体(23)；两个特殊动叶片(20A、20B)，各自具有一部分嵌合于动叶片嵌合槽(11)的叶根(21)和向转子盘(10)的外侧突出的叶片主体(23)，彼此相邻并堵塞动叶片导入孔(12)；张紧键(30)，插入动叶片(20)之间，该旋转体(1)的特征在于，张紧键(30)具备周方向的厚度尺寸从径方向内侧的一端朝向径方向外侧的另一端逐渐增大的插入部。
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公开(公告)号：CN101568821A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200780047527.8
申请日：2007-10-31
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: G01N21/8914 , G01N21/65 , G01N21/8422 , H01L22/12
Abstract: 一种膜质评价方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统，以在使作业员的负担减轻的同时使制造效率提升为目的。对薄膜硅系设备所使用的结晶质硅膜照射光，检测由结晶质硅膜反射的反射光，对检测出的反射光的辉度的参数进行计测，并根据该辉度的参数是否在预先设定的适当范围内来进行该结晶质硅膜的膜质评价。
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公开(公告)号：CN101568796A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200780047607.3
申请日：2007-10-31
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: G01B11/06 , G01B11/0625 , H01L31/206 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 一种膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统，其目的在于减轻作业员的负担，并且提高制造效率。通过线型照明器(3)，对在基板(W)上成膜的透明导电膜或透明光学膜照射直线照明光，并由摄像机检测由透明导电膜或透明光学膜反射的直线反射光，对检测出的反射光的色评价值进行计测，使用将色评价值和膜厚建立关联的膜厚特性，求出与计测的色评价值对应的膜厚。
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公开(公告)号：CN1153043C
公开(公告)日：2004-06-09
申请号：CN99104135.6
申请日：1999-03-19
Applicant: 三菱重工业株式会社
Abstract: 一种轧辊型面检测方法使用一个可沿工作辊的轴线方向往复移动的位移检测器支座和一组(两个)按彼此中心距为Lc安装在上述位移检测器支座上的、用于检测工作辊沿轴线方向上的表面不平度的位移检测器。上述的轧辊型面检测方法包含如下步骤：沿工作辊轴线方向移动上述位移检测器支座检测工作辊全长的表面不平度；和对根据各位移检测器测得的数据之间的差值算出的复合测量数据流进行处理，求出工作辊沿其轴线方向的型面。
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