公开(公告)号：CN102471129A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080027614.9

申请日：2010-09-14

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 笘本雅博 ,  高谷辰弥 ,  泷本博司 ,  折口长敏

IPC: C03B40/033 ,  B32B17/06 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/00 ,  G09F9/30 ,  H01L51/50 ,  H05B33/02

CPC classification number: B32B38/10 ,  B32B7/06 ,  B32B17/06 ,  B32B37/06 ,  B32B2457/20 ,  C03C17/3411 ,  C03C2217/77 ,  H01L51/52 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/266

Abstract: 玻璃膜的制造方法，包括：第1工序，其中，在支承玻璃的表面形成无机薄膜，使成膜后的表面粗糙度Ra达到2.0nm以下；第2工序，其中，在使表面粗糙度Ra为2.0nm以下的玻璃膜接触于所述无机薄膜的表面的状态下进行层叠，从而作为玻璃膜层叠体；第3工序，其中，对所述玻璃膜层叠体进行伴随加热的处理；和第4工序，其中，在所述伴随加热的处理后，将所述玻璃膜从所述支承玻璃上剥离。

公开(公告)号：CN102471129B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201080027614.9

申请日：2010-09-14

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 笘本雅博 ,  高谷辰弥 ,  泷本博司 ,  折口长敏

IPC: C03B40/033 ,  B32B17/06 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/00 ,  G09F9/30 ,  H01L51/50 ,  H05B33/02

CPC classification number: B32B38/10 ,  B32B7/06 ,  B32B17/06 ,  B32B37/06 ,  B32B2457/20 ,  C03C17/3411 ,  C03C2217/77 ,  H01L51/52 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/266

Abstract: 玻璃膜的制造方法，包括：第1工序，其中，在支承玻璃的表面形成无机薄膜，使成膜后的表面粗糙度Ra达到2.0nm以下；第2工序，其中，在使表面粗糙度Ra为2.0nm以下的玻璃膜接触于所述无机薄膜的表面的状态下进行层叠，从而作为玻璃膜层叠体；第3工序，其中，对所述玻璃膜层叠体进行伴随加热的处理；和第4工序，其中，在所述伴随加热的处理后，将所述玻璃膜从所述支承玻璃上剥离。