热式流体计测装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105008870B

    公开(公告)日:2019-10-01

    申请号:CN201480012070.7

    申请日:2014-01-10

    Abstract: 本发明提供一种热式流体计测装置,其为了适当地修正计测误差而实现高精度的计测,包括:具有通道部和电路室的组件;配置于所述通道部的传感器元件;和配置于所述电路室的电路元件,所述电路元件具有修正部,该修正部根据流体的温度与所述组件的温度的温度差信息和所述流体的温度与所述组件的温度中的至少一者的温度来修正所述传感器元件检测出的流量信息。

    进气温度传感装置和流量测量装置

    公开(公告)号:CN104884919B

    公开(公告)日:2017-03-08

    申请号:CN201380067561.7

    申请日:2013-10-25

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种进气温度传感装置,通过将与温度检测元件串联连接的固定电阻集成到集成电路中,而不需要基准电阻和用于将固定电阻与该基准电阻连接的切换开关,从而实现更小型且高精度的进气温度传感装置。该进气温度传感装置包括:电阻值随进气温度变化的温度检测元件(2);与温度检测元件(2)电连接的集成电路(1);集成到集成电路(1)中的与温度检测元件(2)串联连接的电阻元件(3);存储与电阻元件(3)的电阻值对应的修正信息的可写入存储器(7);和修正处理部(6),其基于存储在可写入存储器(7)中的修正信息,对包含在温度检测元件(2)的输出信号中的基于电阻元件(3)的电阻值的误差进行修正。

    热式质量流量计
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105452819A

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201480044585.5

    申请日:2014-02-05

    Abstract: 为了提供一边确保热式质量流量计中的可靠性(一边防止水滴附着造成的劣化和破损)一边能够实现气体测量的高精度化的热式质量流量计,本发明的热式质量流量计具有通过通电而发热的发热体、检测上述发热体的温度的温度检测桥式电路、与上述发热体以及上述温度检测桥式电路连接并进行对上述发热体的通电控制的传感器元件驱动电路部,上述传感器元件驱动电路部具有输出机构和输出抗阻调整机构,上述输出阻抗调整机构配置在上述输出机构和上述发热体之间,其输出阻抗比上述发热体的电阻值高并且小于1MΩ。

    热式流体计测装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105008870A

    公开(公告)日:2015-10-28

    申请号:CN201480012070.7

    申请日:2014-01-10

    Abstract: 本发明提供一种热式流体计测装置,其为了适当地修正计测误差而实现高精度的计测,包括:具有通道部和电路室的组件;配置于所述通道部的传感器元件;和配置于所述电路室的电路元件,所述电路元件具有修正部,该修正部根据流体的温度与所述组件的温度的温度差信息和所述流体的温度与所述组件的温度中的至少一者的温度来修正所述传感器元件检测出的流量信息。

    热式流量计
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103380353B

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201180067266.2

    申请日:2011-03-02

    Abstract: 本发明提供一种不对其他的元件产生影响而能够对传感元件部进行局部的热处理,从而提高传感元件的灵敏度,并且提高传感元件的可靠性的小型的热式流量计。该热式流量计,具有:形成于半导体基板的空洞部;以覆盖上述空洞部的方式设置的由绝缘膜形成的薄膜部;和形成在上述绝缘膜之间的发热电阻体和测温电阻体,其中,在形成上述薄膜部后,进行对上述薄膜部加热而使上述发热电阻体和上述测温电阻体的晶体粒径生长的热处理。

    热式流量计
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103026181A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201180036158.9

    申请日:2011-07-28

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/6842 G01F1/699

    Abstract: 本发明的课题在于提供高灵敏度且可靠性提高了的热式流量传感器。本发明的传感器元件(1)具备:半导体基板(2)、形成于半导体基板(2)的空腔部(4)、在空腔部(4)上隔着电绝缘膜形成的发热电阻器(5)、检测发热电阻器(5)的加热温度的加热温度传感器(7)、根据由加热温度传感器(7)检测的温度控制发热电阻器(5)的加热温度的驱动电路(22)。并且,加热温度传感器(7)是电阻值根据温度而变化的热敏电阻器,相对于发热电阻器(5)配置于被计测流体的流动的上游侧以及下游侧,且配置于被计测流体的流动的垂直方向的上部侧和下部侧。

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