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公开(公告)号：CN103151053A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310011760.8
申请日：2009-10-13
Applicant: 旭化成株式会社
CPC classification number: G11B7/261 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , Y10T428/31504 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明的热反应型抗蚀剂材料的特征在于，元素的氟化物的沸点在200℃以上。据此可以实现一种热反应型抗蚀剂材料，其对为形成槽深度深的图案用氟碳系气体进行的干蚀刻具有很高的耐性。
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公开(公告)号：CN101374766A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200780003874.0
申请日：2007-01-29
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 旭化成株式会社
Abstract: 本发明提供一种透明的粘土膜及其制造方法，该透明的粘土膜是粘土或添加剂均一地分散，难以产生裂纹、裂缝等的缺陷，而且即使放置在大气中，薄雾也难以随时间的变化而产生增大。混合作为粘土的合成皂石和作为溶剂的水，得到粘土分散液。又，混合作为添加剂的聚丙烯酸钠和作为溶剂的水，得到含添加剂液。接着，混合该粘土分散液和含添加剂液，得到均一的含粘土液。并且，在真空下，对含粘土液进行脱气。将已脱气的含粘土液涂布在聚丙烯制浅盘的表面中的平坦部分。并且，干燥后，将形成的粘土膜从浅盘剥离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103123443A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201310051617.1
申请日：2009-10-13
Applicant: 旭化成株式会社
CPC classification number: G11B7/261 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , Y10T428/31504 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明的热反应型抗蚀剂材料的特征在于，元素的氟化物的沸点在200℃以上。据此可以实现一种热反应型抗蚀剂材料，其对为形成槽深度深的图案用氟碳系气体进行的干蚀刻具有很高的耐性。
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公开(公告)号：CN102753651A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201180009575.4
申请日：2011-01-14
Applicant: 旭化成株式会社
CPC classification number: C09K13/00 , B82Y40/00 , H01L21/0337 , H01L21/32134
Abstract: 提供：使用作为热反应型抗蚀剂材料的铜的氧化物在激光下曝光的时候，能选择性的蚀刻曝光、未曝光部分的氧化铜用蚀刻液以及使用其进行蚀刻的方法。本发明的氧化铜用蚀刻液，其特征在于，选择性蚀刻以铜的氧化物作为主成分的氧化铜含有层中的氧化数不同的氧化铜，至少含有螯合剂或其盐。
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公开(公告)号：CN103805202B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201310753209.0
申请日：2011-01-14
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: C09K13/06
CPC classification number: C09K13/00 , B82Y40/00 , H01L21/0337 , H01L21/32134
Abstract: 提供：使用作为热反应型抗蚀剂材料的铜的氧化物在激光下曝光的时候，能选择性的蚀刻曝光、未曝光部分的氧化铜用蚀刻液以及使用其进行蚀刻的方法。本发明的氧化铜用蚀刻液，其特征在于，选择性蚀刻以铜的氧化物作为主成分的氧化铜含有层中的氧化数不同的氧化铜，至少含有螯合剂或其盐。
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公开(公告)号：CN101374766B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200780003874.0
申请日：2007-01-29
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 旭化成株式会社
Abstract: 本发明提供一种透明的粘土膜及其制造方法，该透明的粘土膜是粘土或添加剂均一地分散，难以产生裂纹、裂缝等的缺陷，而且即使放置在大气中，雾度也难以随时间的变化而产生增大。混合作为粘土的合成皂石和作为溶剂的水，得到粘土分散液。又，混合作为添加剂的聚丙烯酸钠和作为溶剂的水，得到含添加剂液。接着，混合该粘土分散液和含添加剂液，得到均一的含粘土液。并且，在真空下，对含粘土液进行脱气。将已脱气的含粘土液涂布在聚丙烯制浅盘的表面中的平坦部分。并且，干燥后，将形成的粘土膜从浅盘剥离。
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公开(公告)号：CN102187276A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200980141352.6
申请日：2009-10-13
Applicant: 旭化成株式会社
CPC classification number: G11B7/261 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , Y10T428/31504 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明的热反应型抗蚀剂材料的特征在于，元素的氟化物的沸点在200℃以上。据此可以实现一种热反应型抗蚀剂材料，其对为形成槽深度深的图案用氟碳系气体进行的干蚀刻具有很高的耐性。
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