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公开(公告)号：CN106104381A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201580013242.7
申请日：2015-03-16
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 感光性树脂组合物包含：(A)选自由作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、聚酰胺酸盐、聚酰胺酸酰胺、可成为聚噁唑前体的聚羟基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑、聚苯并噻唑、以及酚醛树脂组成的组中的至少1种树脂；(B)感光剂；以及(C)选自由多官能(甲基)丙烯酸酯以及分子量不足1000的低分子量酰亚胺化合物组成的组中的至少1种。
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公开(公告)号：CN113820920B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202111074739.3
申请日：2017-03-28
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , C09D179/08 , C08L77/00
Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。
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公开(公告)号：CN108475020A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201780004863.8
申请日：2017-08-17
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 一种负型感光性树脂组合物，其在200℃以下的低温固化条件下酰亚胺化率也良好、能得到耐化学药品性高的树脂层，所述负型感光性树脂组合物相对于(A)聚酰亚胺前体100质量份以0.1质量份～20质量份的比例包含(B)光聚合引发剂，(A)聚酰亚胺前体为具有特定结构的聚酰胺酸酯或聚酰胺酸盐，(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且不足16000。
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公开(公告)号：CN115185157A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210744394.6
申请日：2017-03-28
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , C08K5/33 , C08K5/375 , C08L77/00 , C09D179/08
Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。
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公开(公告)号：CN107615166A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680031940.4
申请日：2016-08-18
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/031 , G03F7/027 , H01L21/768 , H01L23/532
Abstract: 本发明能够提供能得到高温保存试验后、在Cu层与聚酰亚胺层接触的界面不易产生空穴的、密合性高的聚酰亚胺层的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的聚酰亚胺。以及提供在高温保存试验后、在Cu层与聚酰亚胺层接触的界面不易产生空穴、高温保存试验后的短路、断路不易产生的半导体装置。一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有作为感光性聚酰亚胺前体的(A)成分和包含通式(B1)所示结构的(B)成分。(式(B1)中，Z为硫或氧原子，另外R1～R4各自独立地表示氢原子或1价有机基团。)
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113820920A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202111074739.3
申请日：2017-03-28
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , C09D179/08 , C08L77/00
Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。
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公开(公告)号：CN110941142A
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201911142158.1
申请日：2015-03-16
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、以及半导体装置。感光性树脂组合物包含：(A)选自由作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、聚酰胺酸盐、聚酰胺酸酰胺、可成为聚噁唑前体的聚羟基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑、聚苯并噻唑、以及酚醛树脂组成的组中的至少1种树脂；(B)感光剂；以及(C)选自由多官能(甲基)丙烯酸酯以及分子量不足1000的低分子量酰亚胺化合物组成的组中的至少1种。
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公开(公告)号：CN106104381B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201580013242.7
申请日：2015-03-16
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 感光性树脂组合物包含：(A)选自由作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、聚酰胺酸盐、聚酰胺酸酰胺、可成为聚噁唑前体的聚羟基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑、聚苯并噻唑、以及酚醛树脂组成的组中的至少1种树脂；(B)感光剂；以及(C)选自由多官能(甲基)丙烯酸酯以及分子量不足1000的低分子量酰亚胺化合物组成的组中的至少1种。
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公开(公告)号：CN115755526A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211288409.9
申请日：2017-08-17
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/004 , C08G73/10 , C08G73/12 , C08G73/22 , G03F7/20 , G03F7/30 , G03F7/40 , H01L21/027
Abstract: 一种负型感光性树脂组合物，其在200℃以下的低温固化条件下酰亚胺化率也良好、能得到耐化学药品性高的树脂层，所述负型感光性树脂组合物相对于(A)聚酰亚胺前体100质量份以0.1质量份～20质量份的比例包含(B)光聚合引发剂，(A)聚酰亚胺前体为具有特定结构的聚酰胺酸酯或聚酰胺酸盐，(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且不足16000。
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