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公开(公告)号：CN113820920B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202111074739.3
申请日：2017-03-28
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , C09D179/08 , C08L77/00
Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。
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公开(公告)号：CN106104381A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201580013242.7
申请日：2015-03-16
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 感光性树脂组合物包含：(A)选自由作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、聚酰胺酸盐、聚酰胺酸酰胺、可成为聚噁唑前体的聚羟基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑、聚苯并噻唑、以及酚醛树脂组成的组中的至少1种树脂；(B)感光剂；以及(C)选自由多官能(甲基)丙烯酸酯以及分子量不足1000的低分子量酰亚胺化合物组成的组中的至少1种。
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公开(公告)号：CN115185157A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210744394.6
申请日：2017-03-28
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , C08K5/33 , C08K5/375 , C08L77/00 , C09D179/08
Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。
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公开(公告)号：CN110941142B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201911142158.1
申请日：2015-03-16
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、以及半导体装置。感光性树脂组合物包含：(A)选自由作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、聚酰胺酸盐、聚酰胺酸酰胺、可成为聚噁唑前体的聚羟基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑、聚苯并噻唑、以及酚醛树脂组成的组中的至少1种树脂；(B)感光剂；以及(C)选自由多官能(甲基)丙烯酸酯以及分子量不足1000的低分子量酰亚胺化合物组成的组中的至少1种。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107850844A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201780002139.1
申请日：2017-03-28
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。
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公开(公告)号：CN113820920A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202111074739.3
申请日：2017-03-28
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , C09D179/08 , C08L77/00
Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。
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公开(公告)号：CN110941142A
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201911142158.1
申请日：2015-03-16
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、以及半导体装置。感光性树脂组合物包含：(A)选自由作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、聚酰胺酸盐、聚酰胺酸酰胺、可成为聚噁唑前体的聚羟基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑、聚苯并噻唑、以及酚醛树脂组成的组中的至少1种树脂；(B)感光剂；以及(C)选自由多官能(甲基)丙烯酸酯以及分子量不足1000的低分子量酰亚胺化合物组成的组中的至少1种。
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公开(公告)号：CN106104381B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201580013242.7
申请日：2015-03-16
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 感光性树脂组合物包含：(A)选自由作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、聚酰胺酸盐、聚酰胺酸酰胺、可成为聚噁唑前体的聚羟基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑、聚苯并噻唑、以及酚醛树脂组成的组中的至少1种树脂；(B)感光剂；以及(C)选自由多官能(甲基)丙烯酸酯以及分子量不足1000的低分子量酰亚胺化合物组成的组中的至少1种。
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