公开(公告)号：CN113820920B

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202111074739.3

申请日：2017-03-28

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 赖末友裕 ,  井上泰平 ,  井户義人 ,  中村光孝 ,  汤之口智惠 ,  笹野大辅 ,  佐佐木隆弘

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G03F7/023 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/037 ,  G03F7/038 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  C09D179/08 ,  C08L77/00

Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。

公开(公告)号：CN113820920A

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN202111074739.3

申请日：2017-03-28

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 赖末友裕 ,  井上泰平 ,  井户義人 ,  中村光孝 ,  汤之口智惠 ,  笹野大辅 ,  佐佐木隆弘

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G03F7/023 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/037 ,  G03F7/038 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  C09D179/08 ,  C08L77/00

Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。

公开(公告)号：CN107850844B

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN201780002139.1

申请日：2017-03-28

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 赖末友裕 ,  井上泰平 ,  井户義人 ,  中村光孝 ,  汤之口智惠 ,  笹野大辅 ,  佐佐木隆弘

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/031

Abstract: 包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。

公开(公告)号：CN115185157A

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202210744394.6

申请日：2017-03-28

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 赖末友裕 ,  井上泰平 ,  井户義人 ,  中村光孝 ,  汤之口智惠 ,  笹野大辅 ,  佐佐木隆弘

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G03F7/023 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/037 ,  G03F7/038 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  C08K5/33 ,  C08K5/375 ,  C08L77/00 ,  C09D179/08

Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。

公开(公告)号：CN107615166A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201680031940.4

申请日：2016-08-18

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 赖末友裕 ,  井户義人 ,  井上泰平 ,  松田治美

IPC: G03F7/031 ,  G03F7/027 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532

Abstract: 本发明能够提供能得到高温保存试验后、在Cu层与聚酰亚胺层接触的界面不易产生空穴的、密合性高的聚酰亚胺层的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的聚酰亚胺。以及提供在高温保存试验后、在Cu层与聚酰亚胺层接触的界面不易产生空穴、高温保存试验后的短路、断路不易产生的半导体装置。一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有作为感光性聚酰亚胺前体的(A)成分和包含通式(B1)所示结构的(B)成分。(式(B1)中，Z为硫或氧原子，另外R1～R4各自独立地表示氢原子或1价有机基团。)

公开(公告)号：CN112799281A

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN202011606262.4

申请日：2016-08-18

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 赖末友裕 ,  井户義人 ,  井上泰平 ,  松田治美

IPC: G03F7/031 ,  G03F7/037 ,  G03F7/038 ,  C08G73/10 ,  H01L23/488 ,  H01L21/48

Abstract: 本发明涉及一种感光性树脂组合物、聚酰亚胺的制造方法及半导体装置。本发明能够提供能得到高温保存试验后、在Cu层与聚酰亚胺层接触的界面不易产生空穴的、密合性高的聚酰亚胺层的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的聚酰亚胺。以及提供在高温保存试验后、在Cu层与聚酰亚胺层接触的界面不易产生空穴、高温保存试验后的短路、断路不易产生的半导体装置。一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有作为感光性聚酰亚胺前体的(A)成分和包含通式(B1)所示结构的(B)成分。(式(B1)中，Z为硫或氧原子，另外R1～R4各自独立地表示氢原子或1价有机基团。)

公开(公告)号：CN107615166B

公开(公告)日：2020-12-25

申请号：CN201680031940.4

申请日：2016-08-18

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 赖末友裕 ,  井户義人 ,  井上泰平 ,  松田治美

IPC: G03F7/031 ,  G03F7/027 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532

Abstract: 本发明能够提供能得到高温保存试验后、在Cu层与聚酰亚胺层接触的界面不易产生空穴的、密合性高的聚酰亚胺层的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的聚酰亚胺。以及提供在高温保存试验后、在Cu层与聚酰亚胺层接触的界面不易产生空穴、高温保存试验后的短路、断路不易产生的半导体装置。一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有作为感光性聚酰亚胺前体的(A)成分和包含通式(B1)所示结构的(B)成分。(式(B1)中，Z为硫或氧原子，另外R1～R4各自独立地表示氢原子或1价有机基团。)

公开(公告)号：CN107850844A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201780002139.1

申请日：2017-03-28

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 赖末友裕 ,  井上泰平 ,  井户義人 ,  中村光孝 ,  汤之口智惠 ,  笹野大辅 ,  佐佐木隆弘

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/031

CPC classification number: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031

Abstract: 包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。