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公开(公告)号:CN102194626B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201110058536.5
申请日:2011-03-08
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H01J17/16 , G02F1/1333
Abstract: 本发明提供一种能够正确地进行向玻璃基板的切角部或定向平面部照射激光时的玻璃基板的定位、件号确认的玻璃基板。对于本发明的玻璃基板(10),为了从激光位移计将激光向切角部或定向平面部照射而进行定位或玻璃基板(10)的件号确认,而将切角部或定向平面部的面作为未研磨面。具体来说,在切角用砂轮(16A、16B)中使用#400以上且小于#600的粒度,以使切角部或定向平面部的面的算术平均粗糙度(Ra)超过0.5μm。由此,通过实测确认了切角部或定向平面部的面的算术平均粗糙度(Ra)为0.8~1.0μm。
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公开(公告)号:CN102985386B
公开(公告)日:2015-09-02
申请号:CN201180033900.0
申请日:2011-02-21
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03C19/00 , G02F1/1333
CPC classification number: C03C19/00 , B24B9/10 , B24B49/10 , B24B49/12 , G01N21/95 , G01N21/9503 , G01N2021/9513 , G06T7/40 , Y10T428/24777
Abstract: 本发明提供能够正确评价玻璃基板的端面的特性的玻璃基板端面的评价方法及基于该评价方法的玻璃基板端面的加工方法以及基于该加工方法,能够减少玻璃基板端面的尘埃附着的玻璃基板,并且基于该加工方法,能够防止在倒角面产生烧伤、崩裂、缺口等缺点的玻璃基板。根据本发明,对利用激光显微镜(14)拍摄到的端面(Z)的图像进行白黑二值化处理,将端面存在的凹部作为白图像,将端面的镜面作为黑图像进行识别,而且,基于白图像的面积相对于黑图像的面积的比率,评价玻璃基板的端面的特性。根据该评价方法,与精度的可靠性依赖于端面(Z)存在的凹部的大小的现有触针式粗糙度仪进行的评价方法相比较,能够更正确地评价玻璃基板(G)的端面(Z)的特性。
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公开(公告)号:CN102616566A
公开(公告)日:2012-08-01
申请号:CN201110037593.5
申请日:2011-01-31
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor: 宫本干大
Abstract: 本发明提供一种能够抑制板状体产生损伤的输送装置。一种输送装置(100),通过吸附垫(114)吸附板状体(10)并进行输送,其中,吸附垫(114)的吸附面(116)侧的表层(118)由氟系橡胶海绵形成。该输送装置为例如逐张采取载置于基台(20)上的多张板状体(10)且输送至规定位置的装置,或者从相对于板状体(10)进行规定处理的处理装置(50)将板状体(10)向上方提起,在水平状态下输送,再向下方降下而载置于另一处理装置(60)上的装置。
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公开(公告)号:CN102947238B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201180030160.5
申请日:2011-06-16
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor: 宫本干大
CPC classification number: C03C19/00 , B24B9/10 , C03C2204/08
Abstract: 本发明课题在于削减玻璃基板的主平面的由端面磨削产生的碎玻璃附着量。玻璃基板(10)的端面(12)被磨削成椭圆形状。椭圆由长边a与短边b之比来规定,通过上部曲面(12a)的曲率半径R1、下部曲面(12b)的曲率半径R2、中间部曲面(12c)的曲率半径R3而形成为连续的椭圆形状的曲面。各曲率半径R1~R3具有R1≤R2、R2≤R3,或上述R1=R2、R3>R2、R3>R1的关系。从端面(12)的中心O到切线S1、S2离开基板(10)的主平面的边界P为止的距离c比以往那样将端面(12)形成为倒角形状或半圆形的情况小。由此,在端面磨削工序时产生的碎玻璃的飞散方向向端面(12)侧移动,能够削减玻璃基板(10)的主平面(14)上的碎玻璃附着量。
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公开(公告)号:CN103201072B
公开(公告)日:2015-07-22
申请号:CN201180052847.9
申请日:2011-09-14
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor: 宫本干大
CPC classification number: B24B9/10 , B24B41/068
Abstract: 本发明涉及一种磨边装置,其具有吸附板状体的工作台和对在该工作台的吸附面吸附的板状体的周缘部进行磨削的砂轮,在该磨边装置中,所述吸附面由3个以上的吸附区域构成,在各吸附区域至少各设有一个开口部,所述磨边装置具有减压装置,该减压装置从距所述吸附面的中央近的吸附区域朝向距所述吸附面的中央远的吸附区域,依次在每个吸附区域开始各开口部内的减压,从而进行吸附。
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公开(公告)号:CN101959814B
公开(公告)日:2014-05-14
申请号:CN200980106707.8
申请日:2009-02-25
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B24B9/10 , B24B41/068 , B65G2249/04 , B65G2249/045 , C03B33/03
Abstract: 作为粘贴到玻璃基板加工机的玻璃基板吸附台上的片材(18),其根据JIS?K6253或JIS?K7215的标准的硬度为90~95度,厚度为0.7mm以下,动摩擦系数为0.3以下。另外,优选的片材(18)为至少包含聚氨酯树脂片材(32)以及烯烃树脂片材(或NITOFLON片材)(34)的多层结构,总厚度为0.7mm以下。
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公开(公告)号:CN103201072A
公开(公告)日:2013-07-10
申请号:CN201180052847.9
申请日:2011-09-14
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor: 宫本干大
CPC classification number: B24B9/10 , B24B41/068
Abstract: 本发明涉及一种磨边装置,其具有吸附板状体的工作台和对在该工作台的吸附面吸附的板状体的周缘部进行磨削的砂轮,在该磨边装置中,所述吸附面由3个以上的吸附区域构成,在各吸附区域至少各设有一个开口部,所述磨边装置具有减压装置,该减压装置从距所述吸附面的中央近的吸附区域朝向距所述吸附面的中央远的吸附区域,依次在每个吸附区域开始各开口部内的减压,从而进行吸附。
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公开(公告)号:CN102300673A
公开(公告)日:2011-12-28
申请号:CN201080006105.8
申请日:2010-03-30
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 一种玻璃基板的倒棱装置,具备:工作台,保持玻璃基板;圆柱状的磨具,在其轴方向隔开规定间隔形成有多个用于对保持于所述工作台的玻璃基板的端面进行倒棱加工的环形的槽;旋转驱动部,使所述磨具旋转;第一移动部,使所述磨具在与保持于所述工作台的玻璃基板的面正交的方向上移动;第二移动部,使所述磨具在保持于所述工作台的玻璃基板的面方向上移动;槽形状检测单元,检测还包含所述磨具的多个环形槽的所述正交方向及所述面方向的位置信息的槽形状;控制部,存储有基准槽形状,所述基准槽形状是将所述磨具安装于所述旋转驱动部的基准位置的位置上的磨具的设计值且还包含所述正交方向及所述面方向的位置信息,根据该基准槽形状和通过所述槽形状检测单元检测出的所述槽形状控制所述第一移动部及/或所述第二移动部。
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公开(公告)号:CN102194626A
公开(公告)日:2011-09-21
申请号:CN201110058536.5
申请日:2011-03-08
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H01J17/16 , G02F1/1333
Abstract: 本发明提供一种能够正确地进行向玻璃基板的切角部或定向平面部照射激光时的玻璃基板的定位、件号确认的玻璃基板。对于本发明的玻璃基板(10),为了从激光位移计将激光向切角部或定向平面部照射而进行定位或玻璃基板(10)的件号确认,而将切角部或定向平面部的面作为未研磨面。具体来说,在切角用砂轮(16A、16B)中使用#400以上且小于#600的粒度,以使切角部或定向平面部的面的算术平均粗糙度(Ra)超过0.5μm。由此,通过实测确认了切角部或定向平面部的面的算术平均粗糙度(Ra)为0.8~1.0μm。
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