板状体的剥离方法及其装置

    公开(公告)号:CN102417104A

    公开(公告)日:2012-04-18

    申请号:CN201010297274.3

    申请日:2010-09-28

    Abstract: 本发明提供一种板状体的剥离方法及其装置,将玻璃板(14)自动地从研磨台(20)剥离。根据本发明,在保持玻璃板(14)的一侧后,朝向玻璃板(14)的另一侧和吸附垫(22)之间的边界部喷射压缩空气,使玻璃板(14)上浮,然后,向上浮的玻璃板(14)和吸附垫(22)之间的间隙供给水滴(67)而使吸附垫(22)的吸附力消失。

    研磨装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102554758B

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:CN201110435008.7

    申请日:2011-12-22

    Abstract: 本发明涉及一种研磨装置,将研磨部件支撑为能够相对于被加工部件的加工面摇摆,在将上述研磨部件推压到上述被加工部件的状态下,使上述研磨部件向和上述被加工部件的加工面水平的方向相对运动,研磨上述被加工部件的加工面,该研磨装置具有:旋转传递部件,将来自旋转驱动源的转矩传递到上述研磨部件;以及旋转传递机构,具有层积橡胶部件,该层积橡胶部件以施加压力的方式夹在设置于上述旋转传递部件的第一安装部件与设置于上述研磨部件的第二安装部件之间,传递上述旋转传递部件的转矩,并且追随上述研磨部件的摇摆运动而变形。

    玻璃板的端面研磨装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102441825A

    公开(公告)日:2012-05-09

    申请号:CN201010502765.7

    申请日:2010-09-30

    Inventor: 渡边逸郎

    Abstract: 本发明提供一种玻璃板的端面研磨装置,端面研磨装置(10)是将生产性高的带输送单元(12)和定位精度高的吸附输送单元(14)组合而成的装置,不会使设备的负荷增大,而且不会使设备大型化,用带输送单元(12)补偿了吸附输送单元(14)具有的生产节拍慢的缺点,提高了生产性。而且,通过设置于研磨单元(16)的玻璃板输送方向上游侧的传感器(18),在一块玻璃板(G)上的多个部位检测由吸附输送单元(14)吸附保持的玻璃板(G)的端面的位置,根据该这些端面位置通过位置控制部(20)对砂轮(62)的位置进行前馈控制。由此,玻璃板(G)能够在研磨加工时通过吸附输送单元(14)被定位,而且研磨装置(16)的砂轮(62)能够跟踪玻璃板(G)的端面精度的偏差进行端面研磨加工。

    研磨装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102554758A

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN201110435008.7

    申请日:2011-12-22

    Abstract: 本发明涉及一种研磨装置,将研磨部件支撑为能够相对于被加工部件的加工面摇摆,在将上述研磨部件推压到上述被加工部件的状态下,使上述研磨部件向和上述被加工部件的加工面水平的方向相对运动,研磨上述被加工部件的加工面,该研磨装置具有:旋转传递部件,将来自旋转驱动源的转矩传递到上述研磨部件;以及旋转传递机构,具有层积橡胶部件,该层积橡胶部件以施加压力的方式夹在设置于上述旋转传递部件的第一安装部件与设置于上述研磨部件的第二安装部件之间,传递上述旋转传递部件的转矩,并且追随上述研磨部件的摇摆运动而变形。

    基板的研磨方法及其装置

    公开(公告)号:CN102416598A

    公开(公告)日:2012-04-18

    申请号:CN201010297336.0

    申请日:2010-09-28

    Abstract: 本发明提供一种适于大型玻璃基板的研磨的玻璃基板的研磨方法及其装置。本发明的研磨装置(10)将玻璃基板(G)贴合于在托架(52)上装卸自如的膜框(14)上,在研磨结束后,在远离第二研磨台(20)的工作台(22)上,将研磨结束后的玻璃基板(G)从膜框(14)卸下。

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