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公开(公告)号:CN106868951A
公开(公告)日:2017-06-20
申请号:CN201610862342.3
申请日:2016-09-28
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明提供玻璃间隔纸、玻璃板层叠体以及玻璃板捆包体,该玻璃间隔纸在层叠多张玻璃板时夹设于玻璃板之间,充分抑制了玻璃间隔纸所引起的异物向玻璃板转印,该玻璃板层叠体抑制了在进行输送、保管等之后使用玻璃板时由玻璃间隔纸所引起的异物导致的设备不良的产生,该玻璃板捆包体是将该玻璃板层叠体捆包而成的。玻璃间隔纸在层叠多张玻璃板时夹设于玻璃板之间,具有原纸、和形成于所述原纸的至少一方的主面且包含具有阳离子基团的平均分子量为200~100万的水溶性的阳离子聚合物的涂层。玻璃板层叠体以在玻璃板之间夹设所述玻璃间隔纸的方式层叠有多张玻璃板而形成。玻璃板捆包体具有捆包容器和收容于该容器的所述玻璃板层叠体。
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公开(公告)号:CN106233433A
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:CN201580019805.3
申请日:2015-04-15
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/6776 , H01L21/67086 , H01L21/67173
Abstract: 蚀刻装置(100)包括:蚀刻槽(110),具有基板搬入口(111)及基板搬出口(112);搬运装置(112)搬运基板(500);喷嘴(130),设置在蚀刻槽(110)的内部,向由搬运装置(120)搬运的基板500的背面(510)喷吹反应气体;及气流控制装置(140),设置在蚀刻槽(110)的内部,抑制从基板搬入口(111)及基板搬出口(112)流入到蚀刻槽(110)的内部的外部气体向基板(500)的背面(510)与喷嘴(130)之间的间隙(131)的流入。(120),从基板搬入口(111)朝向基板搬出口
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公开(公告)号:CN106946453A
公开(公告)日:2017-07-14
申请号:CN201610868277.5
申请日:2016-09-29
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: Y02P40/57 , C03B40/00 , B65D65/38 , B65D85/48 , B65D2565/381 , D21H27/10 , G01N21/892 , G01N21/94 , G01N2021/8925
Abstract: 提供一种能够抑制以从玻璃夹纸转印的异物为起因的污染及配线等的不良的产生的玻璃夹纸、玻璃板层叠体及玻璃板包装体。
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