公开(公告)号：CN103260826A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201180059114.8

申请日：2011-10-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 中谷嘉孝 ,  前田伸一郎 ,  古田充 ,  秋山秀 ,  横田稔

IPC: B24B37/00 ,  B24B7/24

CPC classification number: B24B7/242

Abstract: 本发明涉及一种研磨用具，在研磨平台上铺满多张研磨垫片而构成，对所述研磨垫片的表面与端面的交界边部施加斜面。

公开(公告)号：CN107857480A

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201710860184.2

申请日：2017-09-21

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 佐藤启史 ,  似内佑辅 ,  中谷嘉孝 ,  山田兼士 ,  富永龙 ,  米道友广

IPC: C03C15/00 ,  G02F1/1333

CPC classification number: C03C15/00 ,  G02F1/1333 ,  G02F2001/133302

Abstract: 本发明提供玻璃板和玻璃板的制造方法。该玻璃板使成为吸附面的面粗糙化、且抑制反应气体对相反侧的半导体元件等的形成面的影响。玻璃板(1)包括第1主表面(10)、第2主表面(20)、第1端面(30)、第2端面(40)、第3端面(50)以及第4端面(60)。一边将玻璃板(1)在表面粗糙化装置(100)内输送一边使其第2主表面(20)被作为反应气体的氟化氢气体蚀刻，并尽量抑制反应气体对其他面的影响。特别是，第1主表面(10)的Al/Si的值大于第2主表面(20)的Al/Si的值，抑制Al自玻璃成分中被沥滤，使第1主表面(10)与形成于第1主表面(10)的半导体元件等的密合性良好。

公开(公告)号：CN106233433A

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201580019805.3

申请日：2015-04-15

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 富永龙 ,  佐藤启史 ,  似内佑辅 ,  深泽宁司 ,  城山厚 ,  中谷嘉孝 ,  若林沙枝

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/6776 ,  H01L21/67086 ,  H01L21/67173

Abstract: 蚀刻装置(100)包括：蚀刻槽(110)，具有基板搬入口(111)及基板搬出口(112)；搬运装置(112)搬运基板(500)；喷嘴(130)，设置在蚀刻槽(110)的内部，向由搬运装置(120)搬运的基板500的背面(510)喷吹反应气体；及气流控制装置(140)，设置在蚀刻槽(110)的内部，抑制从基板搬入口(111)及基板搬出口(112)流入到蚀刻槽(110)的内部的外部气体向基板(500)的背面(510)与喷嘴(130)之间的间隙(131)的流入。(120)，从基板搬入口(111)朝向基板搬出口

公开(公告)号：CN102950538B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201210295630.7

申请日：2012-08-17

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 福田真 ,  中谷嘉孝 ,  山本一义 ,  木村刚 ,  秋山秀 ,  横田稔

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/26 ,  B24B37/34

Abstract: 本发明涉及一种板状体研磨装置及研磨系统，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。

公开(公告)号：CN108137391A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680059475.5

申请日：2016-10-11

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 佐藤启史 ,  若林纱枝 ,  中谷嘉孝 ,  小林大介 ,  似内佑辅

IPC: C03C15/00 ,  C03C3/085 ,  C03C3/087 ,  C03C3/091 ,  G02F1/1333

CPC classification number: C03C3/085 ,  C03C3/087 ,  C03C3/091 ,  C03C15/00 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明的目的在于提供一种从吸附台剥离时不容易产生剥离带电的显示器用玻璃基板及其制造方法。本发明的显示器用玻璃基板具有第一面和与该第一面相反侧的第二面，其中，上述第一面具有多个开口的孔，上述孔的平均开口面积为1.70×104nm2以下，并且上述孔的合计开口面积为6.00×106nm2/25μm2以上。

公开(公告)号：CN102950538A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210295630.7

申请日：2012-08-17

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 福田真 ,  中谷嘉孝 ,  山本一义 ,  木村刚 ,  秋山秀 ,  横田稔

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/26 ,  B24B37/34

Abstract: 本发明涉及一种板状体研磨装置及研磨系统，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。

公开(公告)号：CN102653074A

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN201210052236.0

申请日：2012-03-01

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 城山厚 ,  中谷嘉孝 ,  福田真 ,  铃木健雄

IPC: B24B37/30 ,  B24B37/26

Abstract: 本发明涉及玻璃板的研磨方法，以通过使熔融玻璃流入熔融锡浴上来制造的玻璃板、且厚度为0.7mm以下、1边长度为1000mm以上、杨氏模量为65GPa以上的玻璃板为研磨对象的玻璃板，利用玻璃保持部件保持上述玻璃板的非研磨面，利用研磨工具研磨该玻璃板的研磨面上存在的高度为0.3μm以下的波纹而使其降低至0.05μm以下，从而制造平板显示器用玻璃基板。

公开(公告)号：CN107857479A

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201710859740.4

申请日：2017-09-21

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 佐藤启史 ,  似内佑辅 ,  中谷嘉孝 ,  山田兼士 ,  富永龍 ,  米道友广

IPC: C03C15/00

CPC classification number: C03C15/00

Abstract: 本发明提供一种玻璃板。该玻璃板使成为吸附面的面粗糙化、且提高玻璃板的朝向判断性。玻璃板(1)包括第1主表面(10)、第2主表面(20)、第1端面(30)、第2端面(40)、第3端面(50)以及第4端面(60)。利用作为反应气体的氟化氢气体对第2主表面(20)进行蚀刻并且利用滞留气体(G)对第1端面(30)也进行蚀刻。其结果，第1主表面(10)的第1表面粗糙度小于第2主表面(20)的第2表面粗糙度，第1端面(30)的第1碎玻璃剥离率大于第2端面(40)的第2碎玻璃剥离率，由此，防止吸附于载物台的第2主表面(20)的剥离带电，容易利用第1端面(30)的表面粗糙化判断玻璃板(1)的方向性。

公开(公告)号：CN203003686U

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201220315924.7

申请日：2012-06-29

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 木村宏 ,  中谷嘉孝

IPC: B24B57/00

CPC classification number: Y02P70/177

Abstract: 研磨剂回收设备10为从由研磨机20排出的研磨废液中回收研磨剂并再利用的装置。研磨废液回收装置30具有回收选择装置31、回收罐32及第一泵34。第一除去单元装置40具有利用离心力将回收罐32回收的研磨废液中包含的研磨剂与水及玻璃成分分离并生成包含研磨剂的第一研磨剂浓缩液的脱水·玻璃成分除去装置100。第二除去装置50具有利用比重差异将第一研磨剂浓缩液中包含的研磨剂与研磨时产生损伤的损伤因子(粗大离子)及异物连续地分离并生成将损伤因子及异物除去的第二研磨剂浓缩液的研磨损伤因子·异物除去装置200。