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公开(公告)号：CN106233433A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201580019805.3
申请日：2015-04-15
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/6776 , H01L21/67086 , H01L21/67173
Abstract: 蚀刻装置(100)包括：蚀刻槽(110)，具有基板搬入口(111)及基板搬出口(112)；搬运装置(112)搬运基板(500)；喷嘴(130)，设置在蚀刻槽(110)的内部，向由搬运装置(120)搬运的基板500的背面(510)喷吹反应气体；及气流控制装置(140)，设置在蚀刻槽(110)的内部，抑制从基板搬入口(111)及基板搬出口(112)流入到蚀刻槽(110)的内部的外部气体向基板(500)的背面(510)与喷嘴(130)之间的间隙(131)的流入。(120)，从基板搬入口(111)朝向基板搬出口
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公开(公告)号：CN102598226A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201080046653.3
申请日：2010-10-14
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C23C16/325 , C23C16/4404 , C23C16/4581 , C30B25/02 , C30B25/12 , C30B29/36 , C30B35/00 , H01L21/67366
Abstract: 本发明涉及半导体制造用夹具及该半导体制造用夹具的制造方法，所述半导体制造用夹具用于半导体制造工序中的CVD装置，并且由夹具基材和形成在夹具基材上的SiC被膜构成，其中，所述SiC被膜的实际的表面积S2与将所述SiC被膜视为表面没有凹凸的平滑的被膜而计算出的表观上的表面积S1的表面积比(表面积S2/表面积S1)为1.4～3.2。
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公开(公告)号：CN102446674A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010502457.4
申请日：2010-09-30
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够抑制由接触剥离而引起的带电的显示器用玻璃基板及其分选方法。本发明为一种板厚度为0.3～6mm的显示器用玻璃基板1，所述玻璃基板的特征在于，使用触针式表面粗糙度测定仪所测定的WCA(滤波中心线波纹度)的平均值为0.03～0.5μm，其中所述触针式表面粗糙度测定仪使用了测定长度设定为200mm、且截止值设定为0.8～25mm的相位补偿型2RC带通滤波器。
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公开(公告)号：CN1233581C
公开(公告)日：2005-12-28
申请号：CN02147522.9
申请日：2002-10-10
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03C13/046 , C03C3/062 , C03C3/068 , C03C3/15 , C03C13/048 , Y10S501/90
Abstract: 一种光放大玻璃，它包含100质量份基质玻璃和0.1-10质量份掺入到基质玻璃中的Er，其中所述的基质玻璃含有Bi2O3、B2O3和SiO2两者中的至少一种、选自Ga2O3、WO3和TeO2的至少一种和La2O3，其中各物质的百分比，Bi2O3是20-80mol%，B2O3+SiO2是5-75mol%，Ga2O3+WO3+TeO2是0.1-35mol%，La2O3是0.01-15mol%。
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公开(公告)号：CN106457777B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201580032650.7
申请日：2015-05-25
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明的目的在于，提供对表面存在微裂纹的玻璃基板施加拉伸应力时不易发生破裂的复合体。本发明涉及一种复合体，其中，树脂层的树脂进入微裂纹内部的至少一部分，树脂自玻璃基板表面的进入深度df相对于前述微裂纹的深度d之比值、前述树脂层的断裂伸长率TE(％)和前述树脂层的屈服应力σS(MPa)的乘积为400MPa·％以上，并且，前述树脂层的拉伸弹性模量为1.0GPa以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102264659B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN200980152660.9
申请日：2009-12-22
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B28D5/04 , C03B33/04 , C03B33/091 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供一种不使装置复杂化就能够通过自动机械生产来割断所期望的平面形状的脆性材料基板的脆性材料基板的割断方法及利用该割断方法获得的车辆用窗玻璃、以及脆性材料基板的割断装置。脆性材料基板的割断方法具有：第1工序，其用于在脆性材料基板(G)的表面(G1)上形成划线(L2)；第2工序，其用于使激光在脆性材料基板(G)的表面(G1)上的照射位置(A)沿划线(L2)相对移动并在比照射位置(A)靠移动方向前方的位置处割断脆性材料基板(G)。
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公开(公告)号：CN102442769A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010502396.1
申请日：2010-09-30
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03B33/08
CPC classification number: Y02P40/57
Abstract: 本发明目的在于提供一种新的玻璃基板的倒棱方法及装置，其能够提高玻璃基板的端面的弯曲强度及冲击强度，防止在玻璃基板制造过程中玻璃基板的破裂及缺损，提高生产性。一种玻璃基板的倒棱方法及装置，其为利用激光光线进行倒棱的方法，其特征在于，对玻璃基板的端面照射激光光线，并对所述玻璃基板的激光光线照射部喷吹冷却气体。
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公开(公告)号：CN106604902A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201580045923.1
申请日：2015-08-18
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明提供覆盖玻璃的耐冲击性优良的车载显示装置。所述车载显示装置是以表层的覆盖玻璃为第1层、由第1层至第n层的构件层叠而构成的车载显示装置，上述覆盖玻璃是板厚为0.5～2.5mm且表面压缩应力层的厚度在10μm以上的强化玻璃，所述车载显示装置满足特定的式(I)。
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公开(公告)号：CN101437764B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200780016680.4
申请日：2007-03-14
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03B5/225
Abstract: 本发明的目的是提供高效地除去残存于熔融玻璃表面的气泡的方法、除泡装置及使用上述除泡方法的玻璃的制造方法，该除泡方法解决玻璃基板制造时，残存于熔融玻璃表面的气泡在成形时被卷入内部，成为内部气泡的问题，可提供品质良好的玻璃基板，并且可提高玻璃基板的生产性。本发明提供熔融玻璃的除泡方法及除泡装置，该除泡方法是熔融玻璃表面的浮游气泡的除去方法，以规定的角度对熔融玻璃表面的浮游气泡照射至少1束激光束。
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公开(公告)号：CN102264659A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200980152660.9
申请日：2009-12-22
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B28D5/04 , C03B33/04 , C03B33/091 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供一种不使装置复杂化就能够通过自动机械生产来割断所期望的平面形状的脆性材料基板的脆性材料基板的割断方法及利用该割断方法获得的车辆用窗玻璃、以及脆性材料基板的割断装置。脆性材料基板的割断方法具有：第1工序，其用于在脆性材料基板(G)的表面(G1)上形成划线(L2)；第2工序，其用于使激光在脆性材料基板(G)的表面(G1)上的照射位置(A)沿划线(L2)相对移动并在比照射位置(A)靠移动方向前方的位置处割断脆性材料基板(G)。
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