制造磁记录介质的方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101842837A

    公开(公告)日:2010-09-22

    申请号:CN200880114270.8

    申请日:2008-10-17

    CPC classification number: G11B5/8408 G11B5/845

    Abstract: 在使膜形成之后的磁记录介质从载体脱离的步骤之后且在将下一个膜形成基底附着到载体的步骤之前,执行对沉积并粘附到载体的表面上的碳膜进行在含氧气体中灰化去除的步骤,并且当执行对碳膜进行灰化去除的步骤时,向载体施加脉冲电压偏置。此外,在对碳膜进行灰化去除的步骤的初始阶段,与氧气浓度相比增加等离子体中的非活性气体的浓度,然后与非活性气体的浓度相比增加氧气浓度。结果,有效地减小了在基底保持载体上沉积的碳膜,抑制了由剥离沉积的膜导致的颗粒的产生,并抑制了由沉积在载体的表面上的碳膜导致的释放气体的排出。

Patent Agency Ranking