公开(公告)号：CN117406317A

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN202311271454.8

申请日：2023-09-28

Applicant: 暨南大学

Inventor： 贾伟 ,  王奕涵 ,  陈昱达

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开一种基于光刻机晶圆卡盘定位系统的二维平面光栅制造方法，将所述二维平面光栅的栅线方向调整至与晶圆卡盘的工作方向一致，通过改变二维平面光栅的栅线分布，使得反射光变为携带位移信号的(‑1，‑1)级次的反射光。在保证晶圆卡盘原有工作状态的情况下，对光栅结构进行优化，设计更高衍射效率偏振无关的光栅，并为之设计制作流程，提高光栅的制作精度从而提高光栅周期一致性，最终达到提高定位精度的效果。经过二维光栅方程的计算，携带位移信号的(‑1，‑1)级次的反射光同样满足自准直衍射条件。相较于现有技术，本发明的制造方法可以减小光栅制作的难度，提高光栅周期的一致性从而提高整体定位系统的测量精度。

公开(公告)号：CN117331160A

公开(公告)日：2024-01-02

申请号：CN202311313319.5

申请日：2023-10-11

Applicant: 暨南大学

Inventor： 陈昱达 ,  周常河 ,  王奕涵 ,  王津

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种基于圆柱结构的1x2透射式偏振无关二维倾斜光栅，包括：圆柱结构，圆柱结构包括相互连接的第一介质层和第二介质层，第一介质层和第二介质层均为圆柱体，第一介质层和第二介质层沿X轴方向和Y轴方向同时倾斜，X轴和Y轴在同一平面内相互垂直，第一介质层和第二介质层沿X轴方向的倾角与第一介质层和第二介质层沿Y轴方向的倾角α相等；基底层，所述基底层与所述第一介质层连接。在TE和TM两种模式下的入射光以正入射条件入射时，其可以同时满足(‑1，0)和(0，‑1)级次的高衍射效率。在429nm‑468nm范围内，(‑1，0)阶衍射效率和(0，‑1)阶衍射效率均超过35％，两级次最高衍射效率之和达到78％，实现了在两个正交平面内的分束效果。

公开(公告)号：CN116007503A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202211314696.6

申请日：2022-10-26

Applicant: 暨南大学

Inventor： 贾伟 ,  王奕涵 ,  陈昱达 ,  王津 ,  周常河

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02015 ,  G01B9/02055

Abstract: 本发明公开一种基于偏振分束光栅的干涉位移测量装置，包括光源组件、光路组件、光电接收模块和信号处理模块；光源组件用以产生测量光束；光路组件包括第一反射棱镜、反射式光栅、第二反射棱镜、第三反射棱镜和偏振分束光栅；光源组件发出测量光束到第一反射棱镜，第一反射棱镜用以将测量光束反射至反射式光栅，反射式光栅将测量光束分为第一衍射光和第二衍射光，第一衍射光和第二衍射光分别反射到第二反射棱镜和第三反射棱镜，第二反射棱镜和第三反射棱镜用以将第一衍射光和第二衍射光调整后入射到偏振分束光栅上；光电接收模块与信号处理模块电信连接，信号处理模块用以对第一拍频信号和第二拍频信号进行差分计算，计算出位移。