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公开(公告)号：CN115165915A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210787373.2
申请日：2022-07-06
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明公开了一种光栅缺陷检测装置及检测方法，其中，缺陷检测装置包括单色光源模块、图像采集模块、XZ二维位移平台及光栅夹具模块以及保护壳。图像采集模块包采用CMOS相机，同时包括高低分辨率光学镜头可根据需求替换；XZ二维移动平台在X轴Z轴方向受控的移动扫描光栅，实现XZ面扫面；图像采集模块与图像处理模块电讯连接,通过图像处理算法对获取的光栅表面图像进行尺寸和瑕疵的量检测；光栅夹具模块垂直固定大尺寸光栅。其中，光栅检测装置采用暗场成像原理以及单色光源，避免光栅镜面成像以及衍射产生彩色光斑，并且机械结构简单紧凑,能根据待测件的宽幅可调的模块化设置。本发明提高了大尺寸光栅表面瑕疵检测的准确度和效率。
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