公开(公告)号：CN106892685B

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201510958543.9

申请日：2015-12-18

Applicant: 有研工程技术研究院有限公司

Inventor： 李帅 ,  吕琴丽 ,  何迪 ,  张超 ,  张华 ,  刘晓鹏

IPC: C04B41/90 ,  C23C14/18 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明公开了一种陶瓷金属化薄膜及其制备方法。该陶瓷金属化薄膜由依次施加在陶瓷基体上的陶瓷金属复合过渡层、第一金属薄膜和第二金属薄膜构成，其中，陶瓷金属复合过渡层由第一金属和与陶瓷基体相同的成分复合而成，第一金属在陶瓷金属复合过渡层中所占比例为20‑80at％；所述陶瓷基体由Al2O3、ZrO2、AlN、BN、SiC、Si3N4中的一种构成；所述第一金属为Nb、Ti、Cr、Zr、V、Ta中的一种；所述第二金属为Ni、Mo、Au、Cu、Pt、W中的一种或几种混合。其制备方法为：(1)在陶瓷基体上以溅射镀膜法沉积陶瓷金属复合过渡层；(2)在陶瓷金属复合过渡层上以溅射镀膜法依次沉积第一金属薄膜和第二金属薄膜。本发明的陶瓷金属化薄膜，陶瓷尺寸控制精确，抗拉强度高。