一种陶瓷金属化薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN106892685B

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201510958543.9

    申请日:2015-12-18

    Abstract: 本发明公开了一种陶瓷金属化薄膜及其制备方法。该陶瓷金属化薄膜由依次施加在陶瓷基体上的陶瓷金属复合过渡层、第一金属薄膜和第二金属薄膜构成,其中,陶瓷金属复合过渡层由第一金属和与陶瓷基体相同的成分复合而成,第一金属在陶瓷金属复合过渡层中所占比例为20‑80at%;所述陶瓷基体由Al2O3、ZrO2、AlN、BN、SiC、Si3N4中的一种构成;所述第一金属为Nb、Ti、Cr、Zr、V、Ta中的一种;所述第二金属为Ni、Mo、Au、Cu、Pt、W中的一种或几种混合。其制备方法为:(1)在陶瓷基体上以溅射镀膜法沉积陶瓷金属复合过渡层;(2)在陶瓷金属复合过渡层上以溅射镀膜法依次沉积第一金属薄膜和第二金属薄膜。本发明的陶瓷金属化薄膜,陶瓷尺寸控制精确,抗拉强度高。

    一种多孔载体表面钯银/氧化钛复合薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN109628898A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201811601170.X

    申请日:2018-12-26

    CPC classification number: C23C14/3464 C23C14/0688

    Abstract: 本发明公开了属于无机膜材料技术领域的一种多孔载体表面钯银/氧化钛复合薄膜及其制备方法。本发明中钯银/氧化钛复合薄膜负载于多孔载体上,钯银/氧化钛复合薄膜中钯银合金的体积百分比为30%‑99%,钯银合金中银的重量百分比为20%~30%;其中钯银/氧化钛复合薄膜通过在多孔载体表面同时溅射钯银合金靶和氧化钛陶瓷靶获得。本发明提供的多孔载体表面钯银/氧化钛复合薄膜高温下稳定性强,无针孔和开裂等缺陷。

    一种用于栅控脉冲行波管电子枪中的栅网及其制作工艺

    公开(公告)号:CN109961994B

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN201711439142.8

    申请日:2017-12-26

    Abstract: 本发明公开了一种用于栅控脉冲行波管电子枪中的栅网及其制作工艺。该栅网包括钼材质的栅网基底、形成在栅网基底上的梯度功能层、及形成在梯度功能层上的复合抗栅电子发射膜;其中梯度功能层采用Nb或Ta制备而成,复合抗栅电子发射膜采用逸出功大于4eV的高熔点材料制备而成。其制作工艺包括以下步骤:(1)将加工成形的钼材质的栅网基底于700‑1000℃进行高温真空除气;(2)采用离子注入和真空沉积镀膜法在栅网基底上制备梯度功能层;(3)采用离子注入和真空沉积镀膜法在梯度功能层上制备复合抗栅电子发射膜;(4)对所制成的栅网进行高温热处理。本发明的栅网能够抑制栅控脉冲行波管栅电子发射,提高栅控脉冲行波管的工作可靠性和使用寿命。

    一种全超导微波腔体滤波器及其制备方法

    公开(公告)号:CN109638396A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201811607777.9

    申请日:2018-12-27

    CPC classification number: H01P1/207 H01P11/00

    Abstract: 本发明公开了一种全超导微波腔体滤波器及其制备方法,所述滤波器结构为:常导金属腔体,施加于金属腔体内表面的过渡层,以及施加于过渡层上的超导涂层。该全超导微波腔体滤波器采用超导涂层材料,在微波腔体滤波器的整体内壁形成一层超导涂层,利用超导涂层在转变温度下的优良微波性能,使滤波器具有品质因素高、微波损耗低、阻带带边陡峭、带外抑制好等优点。

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