公开(公告)号：CN119585466A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202380053495.1

申请日：2023-05-11

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 詹姆斯·弗里斯特·李 ,  黄彦辉 ,  查德·阿德里安·博德特 ,  阿德里亚娜·文蒂拉 ,  丹尼尔·博特赖特 ,  柯蒂斯·沃伦·贝利

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/50 ,  C23C16/34 ,  C23C16/40 ,  C23C16/26

Abstract: 一种装置包括主体，其具有包含有气体分配端口(下文中称为“端口”)的第一表面。第一表面分成多个区域。端口包括：分布在所述区域中的第一区域上的第一端口，每一第一端口经由对应的第一气体分配流径流体连接至第一气体入口；分布在所述区域中的第二区域上的第二端口，每一第二端口经由对应的第二气体分配流径流体连接至第二气体入口；以及分布在所述区域中的第三区域上的第三端口，每一第三端口经由对应的第三气体分配流径流体连接至第三气体入口。第一区域使第二与第三区域相互分开。在主体内，第一气体分配流径与第二和第三气体分配流径的每一者分开。