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公开(公告)号：CN114127342A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202080050458.1
申请日：2020-05-13
Applicant: 朗姆研究公司
IPC: C25D17/06 , C25D21/12 , H01L21/673
Abstract: 在一示例中，所公开的装置的一实施方案描述了一种用于支撑衬底的衬底接触环，该衬底接触环包含外围结构，其设定尺寸并且被配置成支撑在所述衬底接触环内的所述衬底。所述外围结构包含基本平坦的环形部和与所述基本平坦的环形部机械耦合的接触指的间隔阵列。所述接触指的间隔阵列中的每一者是弹性可动的以接合所述衬底接触环内所支撑的所述衬底的边缘。所述接触指中的每一者的近端与所述衬底接触环的所述平坦的环形部机械耦合，并且所述接触指中的每一者的远端能朝所述衬底接触环径向内侧和外侧弹性移动，以在所述衬底交替地被支撑或从所述衬底接触环移除时，交替地接合和释放所述衬底的边缘。公开了其他装置和方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107043953A
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201610818924.1
申请日：2016-09-12
Applicant: 朗姆研究公司
IPC: C25D17/00
CPC classification number: C25D17/001 , C25D3/60 , C25D17/004 , C25D17/005 , C25D17/06
Abstract: 本公开涉及电镀杯组件中的耐用低固化温度疏水涂层。所公开的是用于在电镀过程中啮合晶片的电镀杯，其中所述电镀杯可包括环形杯底、弹性体密封件和电触头元件。杯底可以反复暴露于电镀液。杯底可包括上面可以施加固体润滑剂涂层的非导电材料。固体润滑剂涂层可以在相对低的温度下固化，例如低于非导电材料的熔化温度的温度下固化，并且可以是耐用的和疏水性的。
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公开(公告)号：CN114127342B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202080050458.1
申请日：2020-05-13
Applicant: 朗姆研究公司
IPC: C25D17/06 , C25D21/12 , H01L21/673
Abstract: 在一示例中，所公开的装置的一实施方案描述了一种用于支撑衬底的衬底接触环，该衬底接触环包含外围结构，其设定尺寸并且被配置成支撑在所述衬底接触环内的所述衬底。所述外围结构包含基本平坦的环形部和与所述基本平坦的环形部机械耦合的接触指的间隔阵列。所述接触指的间隔阵列中的每一者是弹性可动的以接合所述衬底接触环内所支撑的所述衬底的边缘。所述接触指中的每一者的近端与所述衬底接触环的所述平坦的环形部机械耦合，并且所述接触指中的每一者的远端能朝所述衬底接触环径向内侧和外侧弹性移动，以在所述衬底交替地被支撑或从所述衬底接触环移除时，交替地接合和释放所述衬底的边缘。公开了其他装置和方法。
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公开(公告)号：CN115768928A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202280005187.7
申请日：2022-03-15
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 蔡利平 , 加布里埃尔·海·格拉哈姆 , 布莱恩·L·巴卡柳 , 斯蒂芬·J·巴尼克二世 , 桑托斯·库马尔 , 詹姆斯·艾萨克·福特纳 , 罗伯特·拉什 , 史蒂文·T·迈耶
IPC: C25D5/02
Abstract: 一种用于在半导体衬底上电镀金属的设备，其中在管芯级对电镀厚度具有高控制，所述设备包括离子阻性离子可渗透元件(例如，具有通道的板)，其中所述元件允许离子电流在电镀期间穿过所述元件流向所述衬底，其中所述元件包括多个区域，每个区域具有变化的局部电阻的图案，并且其中所述变化的局部电阻的图案在至少两个区域中重复。一种电镀方法，所述方法包括：将半导体衬底提供到电镀设备中，其中所述电镀设备包括具有与衬底上的特征图案相关的图案的离子阻性离子可渗透元件或网格状屏蔽件，同时至少在总电镀时间的一部分期间保持衬底上的图案与元件或网格状屏蔽件的图案空间对准。
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公开(公告)号：CN115485421A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202180032145.8
申请日：2021-04-12
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 斯蒂芬·J·巴尼克 , 约翰·弗洛伊德·奥斯特罗夫斯基 , 布莱恩·巴卡柳 , 罗伯特·拉什 , 孟·伟·爱德温·吴 , 桑托斯·库马尔 , 弗雷德里克·迪恩·威尔莫特
IPC: C25D17/00 , C25D7/12 , H01L21/288
Abstract: 一种用于在衬底电镀系统中提供对衬底的电气连接的接触件包含：具有弓形形状的主体。所述主体的所述弓形形状被配置成符合布置于所述衬底电镀系统的唇形密封件和杯件上的衬底的至少一部分的形状。多个第一接触指从所述主体延伸第一距离。多个第二接触指从所述主体延伸第二距离。所述第一距离大于所述第二距离。
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公开(公告)号：CN119040997A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202410957565.2
申请日：2020-05-13
Applicant: 朗姆研究公司
IPC: C25D17/06 , C25D21/12 , H01L21/673
Abstract: 在一示例中，所公开的装置的一实施方案描述了一种用于支撑衬底的衬底接触环，该衬底接触环包含外围结构，其设定尺寸并且被配置成支撑在所述衬底接触环内的所述衬底。所述外围结构包含基本平坦的环形部和与所述基本平坦的环形部机械耦合的接触指的间隔阵列。所述接触指的间隔阵列中的每一者是弹性可动的以接合所述衬底接触环内所支撑的所述衬底的边缘。所述接触指中的每一者的近端与所述衬底接触环的所述平坦的环形部机械耦合，并且所述接触指中的每一者的远端能朝所述衬底接触环径向内侧和外侧弹性移动，以在所述衬底交替地被支撑或从所述衬底接触环移除时，交替地接合和释放所述衬底的边缘。公开了其他装置和方法。
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