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公开(公告)号：CN119452468A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202380050873.0
申请日：2023-06-28
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 约吉斯·巴巴尔 , 萨姆·贾法里安-德黑兰尼 , 大卫·弗伦奇 , 崎山行则 , 程伟锋 , 基思·约瑟夫·马丁 , 安德鲁·H·布伦宁格 , 柯蒂斯·W·贝利
IPC: H01L21/687 , H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 一种被配置成抑制(或至少减少)在期望区域之外的寄生等离子体的产生的寄生等离子体抑制器，例如抑制在等离子体增强处理系统的处理室中的基座附近的区域中的寄生等离子体产生。
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