公开(公告)号：CN118266066A

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202280076926.1

申请日：2022-09-15

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 布莱恩·拉特里夫 ,  罗希特·欧德 ,  斯蒂芬·托平 ,  布莱恩·约瑟夫·威廉姆斯 ,  里格尔·马丁·布鲁宁

IPC: H01L21/67 ,  C23C16/455

Abstract: 一种向衬底处理工具的多个站供给气体的系统包含：用于供给气体的气体源、连接至气体源的质量流量控制器、多个导管、以及多个加热器。该多个导管彼此互连且彼此流体连通。该多个导管包含连接至质量流量控制器的入口、包含多个出口的多个部分、以及多个气体流量限制器。该多个出口连接至多个歧管，该多个歧管用于将该气体分别供给至多个站。该多个气体流量限制器分别设置于该多个导管的邻近该多个出口的相应的多个部分中。该多个加热器耦合至邻近该多个出口并包括多个气体流量限制器的该多个导管的该相应的多个部分。

公开(公告)号：CN115053015A

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN202180013050.1

申请日：2021-02-04

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 杰弗里·沃马克 ,  卡尔·弗雷德里克·利瑟 ,  柯蒂斯·W·贝利 ,  基思·约瑟夫·马丁 ,  里格尔·马丁·布鲁宁 ,  尼克·雷·小莱恩巴格

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/505 ,  H01J37/32

Abstract: 一种反应器系统包括处理室、气体入口和分配器。分配器耦合到气体入口。分配器控制从管形瓶到气体入口的气流。管形瓶包括涂层材料，涂层材料当在反应系统的操作条件下在处理室内释放时，涂覆处理室的内壁。

公开(公告)号：CN117916504A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202280060811.3

申请日：2022-08-09

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 里格尔·马丁·布鲁宁 ,  埃米尔·德拉佩

IPC: F16K37/00 ,  H01L21/67

Abstract: 一种气动阀验证用的自动位检查特征，气动阀与气体线耦合，气体线与半导体设备处理室耦合。可填充气体线以维持被连接的阀呈关闭状态，在此状态下可激活螺线管以迫使气体流出而开启阀。可排放气动气体线以维持被连接的阀呈关闭状态，在此状态下可激活螺线管以迫使气体流至线中而施加压力以开启阀。取决于螺线管和/或阀的类型，一或多条气体线可耦合于螺线管与阀之间。公开一种自动验证阀是否正确连接至气动组件中的特定螺线管的方法。方法可致能特定螺线管是否开启期望阀的验证。