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公开(公告)号:CN104245541B
公开(公告)日:2016-03-23
申请号:CN201380016960.0
申请日:2013-03-07
Applicant: 村田机械株式会社
Inventor: 山本真
IPC: B65G1/04 , B65G1/00 , B65G35/08 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC classification number: B65G1/0421 , B65G1/04 , B65G1/137 , B65G2201/0297 , G05B19/418 , G05B2219/45031 , H01L21/67294 , H01L21/67769
Abstract: 本发明提供一种输送系统。该输送系统(100)具备:收纳架(20),设置于半导体制造装置(60)、(62)的附近,收纳架(20)收纳被输送物(10);堆垛起重机(30),在收纳架(20)中进行被输送物(10)的搬入以及搬出;运载装置(40),输送被输送物(10);ID标签阅读器(R),设置于堆垛起重机(30),ID标签阅读器(R)读取被输送物(10)的ID标签(T);以及控制器(50),在通过IT标签阅读器(R)获取的识别信息和被输送物(10)的输送指令所包含的信息一致的情况下,以将被输送物(10)输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机(30),收纳架(20)的至少一部分能够通过运载装置(40)的夹具(44)进行被输送物(10)的取放。
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公开(公告)号:CN101118375B
公开(公告)日:2011-06-22
申请号:CN200710138187.1
申请日:2007-07-31
Applicant: 村田机械株式会社
Inventor: 山本真
IPC: G03F1/00 , H01L21/677
CPC classification number: G03F7/70741 , G03F1/66 , H01L21/67769 , Y10S414/14
Abstract: 在洁净储料机(2)内的上部设置标线片用旋转架(4)、在下部设置晶圆盒用旋转架(6),并向下供给洁净气体。使晶圆盒运送装置(8)和标线片运送装置(10)在储料机(2)内升降,并通过晶圆盒运送装置(8)连接装载口(18~21)、晶圆盒开闭器(12)以及晶圆盒用旋转架(6)。通过标线片运送装置(10)连接晶圆盒开闭器(12)和标线片用旋转架(4)之间。可紧凑地保管多个标线片和晶圆盒,特别是可将标线片洁净地保管。
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公开(公告)号:CN104245541A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201380016960.0
申请日:2013-03-07
Applicant: 村田机械株式会社
Inventor: 山本真
IPC: B65G1/04 , B65G1/00 , B65G35/08 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC classification number: B65G1/0421 , B65G1/04 , B65G1/137 , B65G2201/0297 , G05B19/418 , G05B2219/45031 , H01L21/67294 , H01L21/67769
Abstract: 本发明提供一种输送系统。该输送系统(100)具备:收纳架(20),设置于半导体制造装置(60)、(62)的附近,收纳架(20)收纳被输送物(10);堆垛起重机(30),在收纳架(20)中进行被输送物(10)的搬入以及搬出;运载装置(40),输送被输送物(10);ID标签阅读器(R),设置于堆垛起重机(30),ID标签阅读器(R)读取被输送物(10)的ID标签(T);以及控制器(50),在通过IT标签阅读器(R)获取的识别信息和被输送物(10)的输送指令所包含的信息一致的情况下,以将被输送物(10)输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机(30),收纳架(20)的至少一部分能够通过运载装置(40)的夹具(44)进行被输送物(10)的取放。
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公开(公告)号:CN101088893A
公开(公告)日:2007-12-19
申请号:CN200710110004.5
申请日:2007-06-14
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: B65G49/05 , B65G59/00 , H01L21/677 , G02F1/1333
CPC classification number: H01L21/67781 , H01L21/67155 , H01L21/67772 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供一种能够在维持清洁度的同时实现托盘单位中的处理的自动化、向多品种小批量的对应、输送效率的提高的输送系统。设有:托盘取放机构(20),将多个层叠了的托盘(1)相对于箱体(5)取放;容器箱体输送机构(10),输送该容器箱体(5)。
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公开(公告)号:CN1088953C
公开(公告)日:2002-08-07
申请号:CN96103999.X
申请日:1996-04-01
Applicant: 村田机械株式会社
CPC classification number: H04N1/32704 , H04N1/324 , H04N1/32432 , H04N1/32708 , H04N1/32717 , H04N1/32726 , H04N1/32728 , H04N1/32741 , H04N1/4413
Abstract: 本发明公开了一种不管呼出方利用哪种通信装置都可以进行亲展通信的通信装置,其中,电话机T所连接的接收号码检测处理装置与传真机构成一个整体,传真机与接收号码检测电路共用一个CPU。CPU与ROM、RAM和图像存储器等相连接,根据呼出方输入的接收号码和通行口令,可以判断出是否可以使用图像存储器内的信箱,在可以使用时,使呼出方终端和信箱之间可以进行通信;在不可使用时,可以切换到通常的传真通信上。
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公开(公告)号:CN1077756C
公开(公告)日:2002-01-09
申请号:CN95107693.0
申请日:1995-06-15
Applicant: 村田机械株式会社
Inventor: 山本真
IPC: H04N1/32
Abstract: 本发明提供一种具有连接分机电话功能的通信终端装置,当检测交换机输出的呼叫信号后,在检测出分机电话机处于摘机状态时,将线路连接到通信终端装置上,之后,在一定时间以内,一旦检测到来自对方局的CNG信号或是分机电话机处于挂机状态,就开始传真通信程序;而当在一定时间以内没有检测出来自对方局的CNG信号或是分机电话机处于挂机状态时,就将通信终端装置与线路断开。
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公开(公告)号:CN102753458A
公开(公告)日:2012-10-24
申请号:CN201080060790.2
申请日:2010-10-08
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: B65G1/00 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67733
Abstract: 输送车系统(1)具备输送车(3)、CW传感器(57)及制造控制器(21)。输送车(3)在多个装置间输送装入有基板(50)的搬运器(49)。CW传感器(57)检测搬运器(49)内的基板(50)的状态。制造控制器(21)控制输送车(3)的输送,并且如果从CW传感器(57)输入异常信号,就使输送车(3)中止输送搬运器(49)。
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