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公开(公告)号:CN103096554B
公开(公告)日:2016-01-06
申请号:CN201210428070.8
申请日:2012-10-31
CPC classification number: H05B6/708 , G03G15/2007 , H05B6/701 , H05B6/80 , H05B2206/046
Abstract: 本发明提供一种微波加热装置,能够有效率地传送微波的能量,由此,同时实现消耗能量的降低和加热效率的提高。具有:输出微波的微波发生部(3);导电性的加热室(5),被导入微波,所述微波的进入方向的终端部(5a)被短路;整合器(7),被设置在微波发生部和加热室(5)之间。加热室具有用于使被加热体通过其内部的开口部(6),整合器是使被加热室的终端部反射的反射微波再向加热室侧反射的结构,从微波发生部的微波输出端到整合器之间通过由导电性材料构成的筒状的波导管连结,从整合器到加热室的终端部之间,除了用于使所述被加热体通过的开口部以外,通过由导电性材料构成的筒状的波导管连结。
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公开(公告)号:CN103096554A
公开(公告)日:2013-05-08
申请号:CN201210428070.8
申请日:2012-10-31
CPC classification number: H05B6/708 , G03G15/2007 , H05B6/701 , H05B6/80 , H05B2206/046
Abstract: 本发明提供一种微波加热装置,能够有效率地传送微波的能量,由此,同时实现消耗能量的降低和加热效率的提高。具有:输出微波的微波发生部(3);导电性的加热室(5),被导入微波,所述微波的进入方向的终端部(5a)被短路;整合器(7),被设置在微波发生部和加热室(5)之间。加热室具有用于使被加热体通过其内部的开口部(6),整合器是使被加热室的终端部反射的反射微波再向加热室侧反射的结构,从微波发生部的微波输出端到整合器之间通过由导电性材料构成的筒状的波导管连结,从整合器到加热室的终端部之间,除了用于使所述被加热体通过的开口部以外,通过由导电性材料构成的筒状的波导管连结。
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公开(公告)号:CN101003331A
公开(公告)日:2007-07-25
申请号:CN200710001751.5
申请日:2007-01-16
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: B65G59/00 , B65G57/00 , B65G43/00 , B65G49/05 , G02F1/1333 , H01L21/677
Abstract: 液晶基板等的工序内输送路上设置使载放了基板的托盘一个一个输送的单个输送、和将托盘层叠并输送的层叠输送的两者自由变换的区间,并对应于处理装置(4)侧的状况对单个输送和层叠输送进行切换。在工厂的调试时等的处理量少的时期进行单个输送,在处理量增大但工序不稳定的时期进行层叠输送,进行大量输送并增加处理装置的缓冲。当工序稳定时切换为高速单个输送,在各处理装置需要时供给需要的基板。
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公开(公告)号:CN101271836A
公开(公告)日:2008-09-24
申请号:CN200810092137.9
申请日:2003-06-27
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , B65G49/00
Abstract: 输送车包括在预定的输送路径行走的行走单元(14)、供给净化后的空气的净化单元(12)、接受净化后的空气并收容被制造物的收容部(13)、用于进行被制造物相对收容部(13)的送入或送出的设于箱体侧面的移载口(11)、朝移载口(11)侧送风的第一空气吹出部(19A)。这样,可在输送车内和制造装置内比周围环境更得到净化的输送系统中防止由附着于移载口的异物等污染移载的被制造物。
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公开(公告)号:CN101012016A
公开(公告)日:2007-08-08
申请号:CN200610156278.3
申请日:2006-12-29
Applicant: 村田机械株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够一张张地载置薄板状物品、并能够在多个层叠的状态下保管的单片输送用托盘,即使在层叠的状态下鼓风也能够到达托盘之间、不容易积存灰尘。在单片输送用托盘(1)的外框(2)的上面隔开间隔设置了多个支持层叠的托盘的支持部。并且使外框(2)的上端朝向外侧地使外框(2)倾斜。
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公开(公告)号:CN101003326A
公开(公告)日:2007-07-25
申请号:CN200610146417.4
申请日:2006-11-13
Applicant: 村田机械株式会社
Abstract: 本发明的技术问题在于,提供一种能够高效地搬送工件的搬送系统。由多个单元构成,上述单元利用输送机连接第1堆垛起重机(8)和第2堆垛起重机(14),与其他的单元独立地自由控制停止/启动,并且具备与堆垛起重机(14)之间的移载位置。输送机设置在沿堆垛起重机(14)的行进路径设置的货架(12、13)的上部,在货架(12、13)上设置有拆卸层装装置(23)和层装装置(24)。本发明能够高效率地搬送并且保管工件,能够改变与货架的外部进行工件搬送的形态。
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公开(公告)号:CN1903668A
公开(公告)日:2007-01-31
申请号:CN200610107828.2
申请日:2006-07-24
Applicant: 村田机械株式会社
Abstract: 本发明提供一种薄板体输送用盘,该输送用盘可以每次装载、输送一片薄板状物品,在堆积的状态下也不会产生来源于盘的粉尘。在该薄板体输送用盘(1)的外框(2)上,固定着耐磨性好的树脂块(8),从而构成与堆积的薄板体输送用盘(1)的接触部。在树脂块(8)上,设置着可以上下嵌合的定位部。另外,在树脂块(8)上,还设置着由盘料斗的卡爪所支持的被支持部。
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公开(公告)号:CN1470445A
公开(公告)日:2004-01-28
申请号:CN03148488.3
申请日:2003-06-27
Applicant: 先进显示股份有限公司 , 村田机械株式会社
IPC: B65G49/07 , H01L21/302 , G02F1/136
CPC classification number: H01L21/67724 , B01D50/00 , H01L21/67017 , H01L21/67736 , Y10S55/18 , Y10S55/29 , Y10S55/46
Abstract: 输送车包括在预定的输送路径行走的行走单元(14)、供给净化后的空气的净化单元(12)、接受净化后的空气并收容被制造物的收容部(13)、用于进行被制造物相对收容部(13)的送入或送出的设于箱体侧面的移载口(11)、朝移载口(11)侧送风的第一空气吹出部(19A)。这样,可在输送车内和制造装置内比周围环境更得到净化的输送系统中防止由附着于移载口的异物等污染移载的被制造物。
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公开(公告)号:CN101537932A
公开(公告)日:2009-09-23
申请号:CN200910127148.0
申请日:2009-03-13
Applicant: 村田机械株式会社
Abstract: 本发明提供浮起输送装置和浮起输送方法。沿着物品的输送路设置多个浮起单元,使物品浮起。并且,通过从线圈对装配在物品上的导电层施加磁通来对物品施加推进力,沿着输送路进行输送。能够非接触地使物品浮起进行输送,并且能够容易地控制物品的朝向或者左右方向的位置。
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公开(公告)号:CN100488855C
公开(公告)日:2009-05-20
申请号:CN03148488.3
申请日:2003-06-27
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: B65G49/07 , H01L21/302 , G02F1/136
CPC classification number: H01L21/67724 , B01D50/00 , H01L21/67017 , H01L21/67736 , Y10S55/18 , Y10S55/29 , Y10S55/46
Abstract: 输送车包括在预定的输送路径行走的行走单元(14)、供给净化后的空气的净化单元(12)、接受净化后的空气并收容被制造物的收容部(13)、用于进行被制造物相对收容部(13)的送入或送出的设于箱体侧面的移载口(11)、朝移载口(11)侧送风的第一空气吹出部(19A)。这样,可在输送车内和制造装置内比周围环境更得到净化的输送系统中防止由附着于移载口的异物等污染移载的被制造物。
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