氦气的纯化方法及纯化装置

    公开(公告)号:CN102311103B

    公开(公告)日:2014-10-15

    申请号:CN201110198460.6

    申请日:2011-07-04

    Abstract: 本发明通过有效地降低回收氦气的杂质含有率,从而提供能以低成本将氦气纯化至高纯度的方法和装置。对至少含有氢、一氧化碳、来源于空气的氮和氧作为杂质的氦气进行纯化时,使氦气中的氧、氢和一氧化碳反应,使氧残留而生成二氧化碳和水。接着,通过添加氢使氢摩尔浓度达到高于氧摩尔浓度的2倍的值,使氧与氢反应,使氢残留而生成水。接着,在进行脱水操作后,使氦气中的氢与金属氧化物反应,从而生成水。接着,通过使用沸石类吸附剂的变压吸附法至少吸附杂质中的氮、二氧化碳和水,然后通过-10℃~-50℃的变温吸附法至少吸附氮。

    氩精制方法、氩精制装置、目标气体精制方法和目标气体精制装置

    公开(公告)号:CN101962179B

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN201010280683.2

    申请日:2010-06-11

    Abstract: 本发明提供氩精制方法、氩精制装置、目标气体精制方法和目标气体精制装置。该氩精制方法和装置适于利用TSA法以高产出率得到高纯度氩,并且适于实现TSA循环时间的缩短化。在氩精制方法中,将含有Ar的气体输入到贮存槽(10),从贮存槽(10)向包含填充有吸附剂的吸附管的TSA吸附塔(51A、51B)侧供给气体。并且,在各个TSA吸附塔中反复进行包含吸附、加热脱除和冷却的工序的循环。在吸附工序中,在吸附管内的吸附剂处于较低的吸附用温度的状态下,将气体导入吸附管,使气体中的杂质吸附于吸附剂,并将Ar富化气体从吸附管中导出。在加热脱除工序中,利用液体状载热体使吸附管内的吸附剂升温,从吸附剂中脱除杂质,将精制气体导入吸附管并从吸附管中导出排出气。排出气被导入贮存槽(10)。在冷却工序中,利用液体状冷媒使吸附管内的吸附剂降温。

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