公开(公告)号：CN1442911A

公开(公告)日：2003-09-17

申请号：CN03119824.4

申请日：2003-03-04

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 三上宽佑 ,  内山博一 ,  桑岛秀树

IPC: H01L41/22 ,  G11B7/12 ,  G11B21/21

CPC classification number: H01L41/313 ,  H01L41/316 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49126

Abstract: 本发明的薄膜压电元件的制造方法包括：把形成在基板上的多个薄膜压电元件通过粘接层粘接在暂时固定用基板上以使用该基板和暂时固定用基板夹持薄膜压电元件的工序、通过选择地除去该基板使薄膜压电元件露出的工序、使薄膜压电元件与区划范围部对应地固定具有分隔离各个薄膜电子元件的区划范围部的元件收纳夹具的工序、和在垂直方向上下配置元件收纳夹具通过药液溶解除去粘接层以便将薄膜元件收纳在元件收纳夹具的上述区划范围部中的工序，在从基板上分离薄膜压电元件时，可以彼此隔离地收纳。结果可以提高薄膜压电元件的生产效率和成品率。

公开(公告)号：CN1298060C

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：CN03119824.4

申请日：2003-03-04

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 三上宽佑 ,  内山博一 ,  桑岛秀树

IPC: H01L41/22 ,  G11B7/12 ,  G11B21/21

CPC classification number: H01L41/313 ,  H01L41/316 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49126

Abstract: 本发明的薄膜压电元件的制造方法包括：把形成在基板上的多个薄膜压电元件通过粘接层粘接在暂时固定用基板上以使用该基板和暂时固定用基板夹持薄膜压电元件的工序、通过选择地除去该基板使薄膜压电元件露出的工序、使薄膜压电元件与区划范围部对应地固定具有分隔离各个薄膜电子元件的区划范围部的元件收纳夹具的工序、和在垂直方向上下配置元件收纳夹具通过药液溶解除去粘接层以便将薄膜元件收纳在元件收纳夹具的上述区划范围部中的工序，在从基板上分离薄膜压电元件时，可以彼此隔离地收纳。结果可以提高薄膜压电元件的生产效率和成品率。