部件供给装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1720609A

    公开(公告)日:2006-01-11

    申请号:CN200380104683.5

    申请日:2003-11-28

    CPC classification number: H01L21/67144 H01L21/67132

    Abstract: 一种部件供给装置,通过根据配置在部件供给装置(4)的板配置装置(12)的板(6、6w、6t)的种类,对托盘供给用板(6t)限制板推压体(61)的下降位置,而可靠进行其保持,另一方面,对晶圆供给用板(6w)通过解除上述下降位置的限制,而一边可靠保持上述晶圆供给用板,一边进行晶圆的扩展,根据上述板的种类有选择地自动进行适当的保持动作及扩展动作。

    部件供给装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100358117C

    公开(公告)日:2007-12-26

    申请号:CN200380104683.5

    申请日:2003-11-28

    Abstract: 一种部件供给装置,通过根据配置在部件供给装置(4)的板配置装置(12)的板(6、6w、6t)的种类,对托盘供给用板(6t)限制板推压体(61)的下降位置,而可靠进行其保持,另一方面,对晶圆供给用板(6w)通过解除上述下降位置的限制,而一边可靠保持上述晶圆供给用板,一边进行晶圆的扩展,根据上述板的种类有选择地自动进行适当的保持动作及扩展动作。

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