公开(公告)号：CN102468143A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201110343772.1

申请日：2011-11-03

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 奥村智洋 ,  斋藤光央 ,  中山一郎 ,  北冈太郎

IPC: H01L21/223 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32412 ,  H01L21/2236 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供一种结构简单的等离子体掺杂方法以及装置，在等离子体炬单元(T)中，螺旋形的导体棒(3)配置在表面涂敷了硼玻璃的石英管(4)的内部，在其周围配置了黄铜块(5)。一边向筒状室内供应气体一边对导体棒(3)供应高频电力，从而使筒状室内产生等离子体，对基材(2)进行照射。

公开(公告)号：CN102468143B

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201110343772.1

申请日：2011-11-03

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 奥村智洋 ,  斋藤光央 ,  中山一郎 ,  北冈太郎

IPC: H01L21/223 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32412 ,  H01L21/2236 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供一种结构简单的等离子体掺杂方法以及装置，在等离子体炬单元(T)中，螺旋形的导体棒(3)配置在表面涂敷了硼玻璃的石英管(4)的内部，在其周围配置了黄铜块(5)。一边向筒状室内供应气体一边对导体棒(3)供应高频电力，从而使筒状室内产生等离子体，对基材(2)进行照射。