-
公开(公告)号：CN102468143B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201110343772.1
申请日：2011-11-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/223 , H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32412 , H01L21/2236 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种结构简单的等离子体掺杂方法以及装置，在等离子体炬单元(T)中，螺旋形的导体棒(3)配置在表面涂敷了硼玻璃的石英管(4)的内部，在其周围配置了黄铜块(5)。一边向筒状室内供应气体一边对导体棒(3)供应高频电力，从而使筒状室内产生等离子体，对基材(2)进行照射。
-
公开(公告)号：CN101291876A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200680038929.7
申请日：2006-10-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: C01B33/12 , C01B13/32 , C23C16/40 , H01L21/316
CPC classification number: B32B9/04 , C01B13/32 , C03C17/25 , C03C2217/213 , C03C2218/322 , C23C8/02 , C23C8/36 , C23C16/402 , H01L21/02126 , H01L21/02131 , H01L21/02164 , H01L21/022 , H01L21/02282 , H01L21/0234 , H01L21/02359 , H01L21/31608 , Y10T428/265
Abstract: 本发明涉及使用金属氧化膜和其形成方法及使用金属氧化膜的光学电子设备。本发明的金属氧化膜的生成方法包括：第一工序，其将在常温下为液体的有机金属化合物、和有机溶剂混合而糊化；第二工序，其将在所述第一工序中所述糊化的材料涂敷于基材；第三工序，其在所述第二工序后，通过向在所述基材上涂敷的所述糊照射大气压等离子体，使所述糊的所述材料中的有机物气化，同时，氧化所述材料中的金属元素，生成金属氧化膜。本发明在玻璃基板等基材(1)上形成包含三层的金属氧化膜(2)。这样的结构可以通过重复将在常温下为液体的有机金属化合物和有机溶剂混合而糊化的工序、在基材上涂敷糊的工序、和使糊中的有机物气化的同时氧化金属元素的工序。
-
公开(公告)号：CN1897214A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200610101558.4
申请日：2006-07-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供具有高发光效率的PDP及其制造方法。在相互对置的前面板和背面板之间填充放电气体而成的等离子体显示器面板中，前面板(100)包括：玻璃基板(1)、位于玻璃基板(1)上的电极(2)(透明电极2a及总线电极2b)、覆盖电极(2)及玻璃基板(1)并含有氟原子的第一电介质层(4)、覆盖第一电介质层(4)并以比第一电介质层(4)少的量含有氟原子的第二电介质层(5)、覆盖第二电介质层(5)的保护层(6)。
-
公开(公告)号：CN1648640A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200510005692.X
申请日：2005-01-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H05K3/3463 , G01J3/443 , G01N21/71 , G01N2021/95646 , H05K1/0269 , H05K2203/095 , H05K2203/162
Abstract: 在本发明的成分分析方法和成分分析装置中，通过向靠近被分析对象物体配置的大气压等离子体源2供给氦气，同时由电源4提供高频电力而产生等离子体5，使被等离子体5照射的被分析对象物体发光。该光通过光学纤维6被导入滤光器7、光电二极管8而进行光电变换。进行了光电变换的信号再被送入控制装置9，由控制装置9判定被分析对象物体中是否含有特定元素。
-
公开(公告)号：CN102782817A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201180012319.0
申请日：2011-05-11
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/324 , H01L21/20 , H01L21/205 , H05H1/30
CPC classification number: H05H1/30 , H01J37/3211 , H01J37/32376 , H01J37/32825 , H01L21/324
Abstract: 在基材载置台(1)的基材载置面(1a)上载置有基材(2)。感应耦合型等离子体喷枪单元(3)包括：筒状腔室(7)，其包括设有长方形的狭缝状的等离子体喷出口(4)且由绝缘体材料构成的圆筒(5)、及闭塞圆筒(5)的两端的盖(6)；气体喷出口(8)，其向筒状腔室(7)内供给气体；螺线管(9)，其使筒状腔室(7)内产生高频电磁场。通过从高频电源(41)向螺线管(9)供给高频电力，由此使筒状腔室(7)内产生等离子体(P)并将其从等离子体喷出口(4)向基材(2)照射。能够使等离子体喷枪单元(3)和基材载置台(1)相对地移动并同时对基材表面进行热处理。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1648640B
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200510005692.X
申请日：2005-01-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H05K3/3463 , G01J3/443 , G01N21/71 , G01N2021/95646 , H05K1/0269 , H05K2203/095 , H05K2203/162
Abstract: 在本发明的成分分析方法和成分分析装置中，通过向靠近被分析对象物体配置的大气压等离子体源2供给氦气，同时由电源4提供高频电力而产生等离子体5，使被等离子体5照射的被分析对象物体发光。该光通过光学纤维6被导入滤光器7、光电二极管8而进行光电变换。进行了光电变换的信号再被送入控制装置9，由控制装置9判定被分析对象物体中是否含有特定元素。
-
公开(公告)号：CN1897214B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200610101558.4
申请日：2006-07-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供具有高发光效率的PDP及其制造方法。在相互对置的前面板和背面板之间填充放电气体而成的等离子体显示器面板中，前面板(100)包括：玻璃基板(1)、位于玻璃基板(1)上的电极(2)(透明电极2a及总线电极2b)、覆盖电极(2)及玻璃基板(1)并含有氟原子的第一电介质层(4)、覆盖第一电介质层(4)并以比第一电介质层(4)少的量含有氟原子的第二电介质层(5)、覆盖第二电介质层(5)的保护层(6)。
-
公开(公告)号：CN101226866B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200810003169.7
申请日：2008-01-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种PDP，其具有形成于基板(103)上的显示电极(106)、电介质层(107)和保护膜(108)，保护膜(108)为包含氧化镁的金属氧化膜，且保护膜(108)的任意点的膜厚、和任意点的通过阴极发光法测出的发光波长400nm到450nm之间的最大发光强度(A2)与发光波长330nm到370nm之间的最大发光强度(A1)的比率(A2/A1)之积，作为保护膜(108)的面内分布在±15％以内的偏差范围内。
-
公开(公告)号：CN100561637C
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200680001400.8
申请日：2006-11-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J9/20 , C23C14/0021 , C23C14/081 , C23C14/568 , H01J11/10 , H01J11/40
Abstract: 一种等离子显示面板的制造方法。其中的成膜装置具有：在形成有显示电极和电介质层的前面基板(3)的形成有电介质层的面上形成保护膜的蒸镀室(21)；在蒸镀室(21)内搬送前面基板(3)的传送部(25)；向蒸镀室(21)内导入含H2O的气体的气体导入部(29a、29b)；测量比蒸镀室(21)的成膜空间的中央更向所述前面基板(3)的传送方向的下游侧的蒸镀室(21)内的规定的气体的分压的分压检测部(29c)；以控制在分压检测部(29c)的气体的分压的方式从气体导入部(29a、29b)导入含H2O的气体。
-
公开(公告)号：CN100468602C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200410057670.3
申请日：2004-08-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J11/12 , C09K11/025 , C09K11/7734 , H01J11/42
Abstract: 本发明提供一种新型的PDP及其制造方法，利用例如氟化物的物理蒸镀，按照包覆荧光体微粒(7)的方式形成含氟预涂层，并向该预涂层供给氟，从而形成包覆荧光体微粒(7)的包覆层(8)。将所得到的带包覆层(8)的荧光体微粒(7)形成糊剂状，并涂布在位于基板(1)上的邻接的棱(4)之间，形成荧光体层(5)，制造PDP。根据本发明的PDP制造方法，能够实现对湿气、氧、等离子体等周围环境具有高的耐受性、特别是耐水性、和高的紫外线透射性的含氟包覆层。能够得到亮度高且亮度劣化小的PDP。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
24
records
(took 0.024 seconds)
