有机薄膜晶体管
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103477440A

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201280015998.1

    申请日:2012-09-05

    CPC classification number: H01L51/0545 H01L51/0558 H01L51/102

    Abstract: 本发明提供一种有机薄膜晶体管及其制造方法,包括:在基板(1)上形成栅电极(2)的工序;在栅电极上形成栅极绝缘膜(3)的工序;在栅极绝缘膜上形成源电极(4S)和漏电极(4D)的工序;在源电极和漏电极上形成牺牲层(5)的工序;在牺牲层上形成隔壁层(6R)的工序;通过对隔壁层进行图案形成,使牺牲层的一部分露出而形成开口的工序;通过除去露出的牺牲层,使源电极和漏电极露出的工序;和遍及源电极和漏电极的上表面以及栅极绝缘膜的上表面而形成有机半导体层(7)的工序,从开口露出的源电极和漏电极的表面积为开口面积的50%以上,源电极与漏电极的间隔小于至少一部分位于源电极和漏电极上的有机半导体层的结晶的平均粒径。

    薄膜晶体管元件及其制造方法、有机EL显示元件和有机EL显示装置

    公开(公告)号:CN103503153B

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201180070581.0

    申请日:2011-06-21

    Abstract: 本发明提供一种薄膜晶体管元件及其制造方法、有机EL显示元件和有机EL显示装置。在TFT基板中,在基板(1011)上形成栅电极(1012a、1012b),其上被绝缘层(1013)覆盖。在绝缘层(1013)上,以在Y轴方向上互相隔开的状态形成有源电极(1014a、1014b)、漏电极(1014c、1014d)以及连接布线(1015)。连接布线(1015)与漏电极(1012c)连接。在绝缘层(1013)上形成有规定开口部(1016a~1016c)的隔壁(1016),以使得电极(1014a~1014d、1015)的各一部分露出。在开口部(1016)的内部,源电极(1014a)和漏电极(1014c)的表面积之和的X轴方向的中心(L3)与开口部(1016b)的底部的中心(L1)相比向X轴方向右侧离开距离x1。拨液性按隔壁(1016)、绝缘层(1013)、电极(1014a、1014c)的顺序由高变低。

    薄膜晶体管元件及其制造方法、有机EL显示元件和有机EL显示装置

    公开(公告)号:CN103503153A

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201180070581.0

    申请日:2011-06-21

    Abstract: 本发明提供一种薄膜晶体管元件及其制造方法、有机EL显示元件和有机EL显示装置。在TFT基板中,在基板(1011)上形成栅电极(1012a、1012b),其上被绝缘层(1013)覆盖。在绝缘层(1013)上,以在Y轴方向上互相隔开的状态形成有源电极(1014a、1014b)、漏电极(1014c、1014d)以及连接布线(1015)。连接布线(1015)与漏电极(1012c)连接。在绝缘层(1013)上形成有规定开口部(1016a~1016c)的隔壁(1016),以使得电极(1014a~1014d、1015)的各一部分露出。在开口部(1016)的内部,源电极(1014a)和漏电极(1014c)的表面积之和的X轴方向的中心(L3)与开口部(1016b)的底部的中心(L1)相比向X轴方向右侧离开距离x1。拨液性按隔壁(1016)、绝缘层(1013)、电极(1014a、1014c)的顺序由高变低。

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