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公开(公告)号：CN1728398A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN200510087952.2
申请日：2005-07-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/148 , H01L21/265
CPC classification number: H01L27/14643 , H01L27/14689 , H01L31/0352
Abstract: 一种固态图像传感器的制造方法包括以下步骤：在半导体衬底中形成用于光电转换的光电检测器部分；以及形成用于转移从光电检测器部分读出的信号电荷的移位寄存器，在用于形成构成移位寄存器的掩埋沟道区的离子注入之后进行退火。可以提供一种固态图像传感器的制造方法，避免在移位寄存器和光电检测器部分中形成晶体缺陷，实现优异的输出图像质量和大饱和电荷。
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